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更新時(shí)間：2025-06-18 15:46:09

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GVC-2000手套箱專用磁控濺射儀采用觸摸控制，外置泵組設(shè)計(jì)，采用平面磁控濺射靶設(shè)計(jì)，從而使試樣在熱效應(yīng)最小的條件下得到有效的濺射效果，常用于鋰電池電極防氧化研究中。

　　GVC-2000手套箱專用磁控濺射儀自動(dòng)化程序控制，一鍵式操作，讓鍍膜更加高效。該設(shè)備采用觸摸控制，外置泵組設(shè)計(jì)，采用平面磁控濺射靶設(shè)計(jì)，從而使試樣在熱效應(yīng)最小的條件下得到有效的濺射效果，常用于鋰電池電極防氧化研究中。

　　一、技術(shù)參數(shù)

　　1、工作原理：磁控濺射

　　2、輸入電壓：AC220V±10%，50Hz

　　3、最大功率（主機(jī)與機(jī)械泵）：500W

　　4、工作電壓：DC2400V

　　5、存儲(chǔ)環(huán)境：溫度-10~60℃，濕度<80%

　　6、工作環(huán)境：溫度 5～40℃，濕度<60%

　　7、真空泵：兩級直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s

　　8、整機(jī)尺寸（長×寬×高）：424×271×255（mm）

　　9、重量（主機(jī)）：11 kg

　　10、真空腔：φ128×130mm

　　11、樣品杯：φ90×1 / φ25×4 / φ15×6

　　12、工作氣體：Air / Ar

　　13、保護(hù)功能：過流、真空雙保護(hù)

　　14、可選靶材：金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬

　　二、手套箱專用磁控濺射儀(手套箱專用離子濺射儀)主要特點(diǎn)

　　1、可用于純氬、純氮環(huán)境，使樣品免受氧氣、水蒸氣或其他污染；

　　2、助力新型電池研究；

　　3、提供全套解決方案及交鑰匙服務(wù)。

手套箱專用離子濺射儀



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