高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀是一種用于在高真空環(huán)境下通過(guò)加熱蒸發(fā)固態(tài)碳源，使其沉積到工件表面形成均勻、致密碳膜的設(shè)備。其操作步驟涉及多個(gè)環(huán)節(jié)，包括設(shè)備準(zhǔn)備、蒸發(fā)過(guò)程控制以及后續(xù)處理等。以下是詳細(xì)的操作步驟：
1.準(zhǔn)備工作
環(huán)境準(zhǔn)備：進(jìn)入房間前換拖鞋，穿上防塵服。打開(kāi)房間總電源，照明和插座的電源，并開(kāi)啟排氣扇。同時(shí)，打開(kāi)鍍膜間后面的電源和水源。
基板整理：整理好基板，以減少真空室在大氣壓狀態(tài)下的時(shí)間，有利于機(jī)械泵和分子泵抽真空。
設(shè)備檢查：打開(kāi)鍍膜機(jī)的電源，檢查真空檢測(cè)顯示是否正常，觀(guān)察是高真空還是低真空狀態(tài)。
2.安裝與調(diào)整蒸發(fā)源
選擇蒸發(fā)頭：根據(jù)蒸鍍材料的不同，選擇合適的蒸發(fā)頭（金屬蒸盒或碳棒蒸發(fā)頭）。使用碳棒蒸發(fā)頭時(shí)，需將一個(gè)電極線(xiàn)連接至儀器后面的黑色孔，另一個(gè)電極線(xiàn)連接至紅色孔。
安裝碳棒，安裝蒸發(fā)頭：將碳蒸發(fā)頭裝在儀器上蓋上，插好電線(xiàn)，打開(kāi)氮?dú)怃撈康拈_(kāi)關(guān)，流量控制在0.035Mpa左右。
3.放置樣品
將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。對(duì)于金屬蒸鍍，還需將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團(tuán)成球形放入鎢籃中。
4.抽真空
開(kāi)放氣閥，直到真空室門(mén)自動(dòng)打開(kāi)。關(guān)閉放氣閥，以免遺忘。
將蒸發(fā)源安裝在電極上，取出襯底托，將襯底安放在襯底托上，當(dāng)好擋板。
檢驗(yàn)石英振蕩器是否正常，觀(guān)察膜厚儀表上對(duì)應(yīng)的綠色指示燈是否亮著。
把調(diào)壓器界面的旋鈕由停旋至蒸發(fā)1檔，調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流，看電流表的示數(shù)是否顯示正常。
將旋鈕調(diào)至機(jī)械泵—分子泵檔，打開(kāi)熱偶規(guī)至V2測(cè)量檔，開(kāi)啟機(jī)械泵，拉出低閥，間隔2分鐘左右推進(jìn)低閥，如此反復(fù)兩三次，待熱偶規(guī)表示數(shù)達(dá)到10Pa時(shí)，推進(jìn)低閥，打開(kāi)高閥，打開(kāi)分子泵電源，開(kāi)啟分子泵。
5.高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀蒸發(fā)過(guò)程
在高真空狀態(tài)下，通過(guò)電阻加熱或電子束加熱的方式，將固態(tài)碳源加熱至蒸發(fā)溫度，轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。這些氣態(tài)的碳原子或分子在真空腔室內(nèi)自由擴(kuò)散，遇到溫度較低的工件表面時(shí)重新凝結(jié)成固態(tài)，逐漸形成一層碳膜。
6.結(jié)束與清理
蒸鍍完畢后，按STOP鍵停止抽真空，打開(kāi)蓋子取出樣品，最后關(guān)閉主機(jī)電源盒氣源。
實(shí)驗(yàn)結(jié)束后取出樣品，長(zhǎng)時(shí)間使用時(shí)需根據(jù)實(shí)際情況及時(shí)清洗腔室。清洗時(shí)注意不要使用有機(jī)試劑如丙酮、乙醇等老化膠圈，避免有試劑沾到老化圈上引起膠圈溶解。
7.安全注意事項(xiàng)
在整個(gè)操作過(guò)程中，要嚴(yán)格遵守實(shí)驗(yàn)室安全規(guī)程，確保人員和設(shè)備的安全。
特別注意在抽真空和加熱過(guò)程中的操作細(xì)節(jié)，避免對(duì)設(shè)備造成損壞或影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
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