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高真空磁控離子濺射儀的操作規(guī)程如下

閱讀:161      發(fā)布時(shí)間:2024-9-18
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   高真空磁控離子濺射儀是一種常用于薄膜制備和表面處理的設(shè)備,其安全操作至關(guān)重要。以下是一些關(guān)于高真空磁控離子濺射儀的安全操作規(guī)程:
  1.操作前的準(zhǔn)備工作:
  確保操作人員已經(jīng)接受相關(guān)培訓(xùn)并了解設(shè)備的操作原理和使用方法。
  穿戴符合安全標(biāo)準(zhǔn)的個(gè)人防護(hù)裝備,包括護(hù)目鏡、防護(hù)服和手套等。
  檢查設(shè)備是否處于良好的工作狀態(tài),包括檢查真空系統(tǒng)、電源和氣路等各個(gè)部分。
  清理工作區(qū)域,保持設(shè)備周?chē)耐ǖ罆惩ǎ员銘?yīng)急情況下的撤離。
  2.操作過(guò)程中的注意事項(xiàng):
  嚴(yán)禁將手放入設(shè)備內(nèi)部,以免發(fā)生意外傷害。
  在操作過(guò)程中避免操作手套被夾損。
  禁止將液體或其他易燃物品放置在設(shè)備周?chē)?/div>
  注意設(shè)備的運(yùn)行情況,如異常聲響、煙霧等不尋常現(xiàn)象,應(yīng)立即停機(jī)檢查。
  在設(shè)備運(yùn)行時(shí),禁止隨意拔掉電源插頭或關(guān)閉主電源開(kāi)關(guān)。
  當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障或其他緊急情況時(shí),應(yīng)立即停機(jī)并采取相應(yīng)措施,如報(bào)警、斷電等。
  3.操作后的清理工作:
  關(guān)閉設(shè)備的電源和主電源開(kāi)關(guān)。
  清理設(shè)備內(nèi)外的污垢和碎片。
  將使用過(guò)的材料和溶液妥善處理,不得隨意傾倒。
  檢查設(shè)備是否處于停機(jī)狀態(tài),并確保設(shè)備及周?chē)h(huán)境的安全。
  4.定期維護(hù):
  檢查真空系統(tǒng),保持真空度在設(shè)定范圍內(nèi),定期更換真空泵油。
  定期檢查和校準(zhǔn)設(shè)備的參數(shù)與儀器的讀數(shù)的一致性。
  清潔設(shè)備的外殼和控制面板,使用清潔劑清除表面污垢。
  定期檢查設(shè)備的電源線(xiàn)、氣路、電路等部分,確保其完好無(wú)損。
  防止設(shè)備積塵,定期清理設(shè)備內(nèi)部的灰塵,保持設(shè)備的通風(fēng)良好。
  定期檢查并更換設(shè)備的耗材和易損件,確保設(shè)備的正常運(yùn)行。

 

 

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