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晶圓顯微鏡性能特點(diǎn)：

1、可選購 2000 萬彩色數(shù)字成像系統(tǒng)，采用進(jìn)口 SONY 一英寸全面幅芯片，分辨率 5440*3648，USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信，細(xì)膩逼真的圖像畫質(zhì)，良好的顏色還原性能，安裝方便

2、成像測量軟件：帶拍照、錄像、幾何測量、圖像拼接、景深拓展等功能，軟件界面簡潔，容易上手

3、配置明暗場專用金相物鏡，成像效果更通透

4、粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動(dòng)格值:2μm

5、 可選購進(jìn)口歐司朗照明光源， 顏色還原真實(shí)，使用壽命長

6、280mm×270mm 大平臺(tái)，移動(dòng)范圍 204*204mm，適合放置大尺寸樣品

晶圓顯微鏡參數(shù)：

1、鏡筒：鉸鏈?zhǔn)诫p目頭部，主機(jī)含三目鏡筒（T），30 度傾斜的鉸鏈?zhǔn)界R筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍為 55-75mm。即使長時(shí)間觀察，也能確保使用者操作舒適，無疲勞感

2. 、攝影時(shí) 100%分光，適合低照度成像

3.、大視野高眼點(diǎn)目鏡：WF10X（視場數(shù) 22mm，視度可調(diào)

4.、無限遠(yuǎn)明暗場平場消色差金相物鏡：

5X/0.12 工 作 距 離 ：(Work distance)：9.70mm

10X/0.25 工作距離(Work distance)：9.30 mm

20X/0.40 工作距離(Work distance)：7.20mm

50X/0.70 工作距離(Work distance)：2.50mm

100X/0.85 工作距離(Work distance)：0.80mm

5、轉(zhuǎn)換器：五孔明暗場專用轉(zhuǎn)換器

6、光學(xué)放大倍數(shù)：50-1000 倍

7、工作臺(tái)：三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，硬膜涂層表面，防腐、耐磨；載物臺(tái)外形尺寸 280mm×270mm，移動(dòng)范圍 204mmX204mm

8、調(diào)焦：粗微動(dòng)同軸，升降范圍 22mm，微動(dòng)格值 0.0008mm，帶松緊和限位裝置

9、反射照明：采用進(jìn)口歐司朗大功率 50W 鹵素?zé)粽彰?，亮度可調(diào)，帶偏振片，翻蓋式燈箱，更換燈泡方便安全；為操作者提供充足亮度，以滿足各種情況下的樣本觀察。帶可變光欄裝置、調(diào)中裝置，保     證視場照明均勻?？膳淦庥^察裝置

10、濾色片：轉(zhuǎn)盤式濾色片座，方便快速切換不同顏色，調(diào)節(jié)方便

11、正交偏光裝置 ：內(nèi)置式可切換偏光觀察裝置，起偏器可 360°旋轉(zhuǎn)；偏光功能，對(duì)材料表面的雜散光可以起到過濾作用，避免雜散光對(duì)樣品細(xì)節(jié)的干擾，或者可以對(duì)晶體等有偏光特性的樣品進(jìn)行觀察

12、可選購 2000 萬彩色數(shù)字成像系統(tǒng)，采用進(jìn)口 SONY 一英寸全面幅芯片，分辨率 5440*3648，USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信，帶拍照、錄像、幾何測量、圖像拼接、景深拓展等功能，軟件界面簡潔