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江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司

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多靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

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品牌 LEBO/雷博
型號 MS450
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 無錫市

屬性

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更新時間：2025-06-18 17:55:11瀏覽次數(shù)：1647評價

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產(chǎn)品簡介

1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。
2.設(shè)備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。
3.該設(shè)備主機與控制一體化設(shè)計，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

詳細(xì)介紹

　　1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備。

　　2.設(shè)備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)等組成。

　　3.該設(shè)備主機與控制一體化設(shè)計，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

　　4.主要用途：

　　1. 開發(fā)納米級單層、多層及復(fù)合膜層等。

　　2. 制備金屬膜、合金膜、半導(dǎo)體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等，例：銀、鋁、銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......

　　3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。

　　5.應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1. 高校、科研院所的教學(xué)、科研實驗及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等。

　　2. 鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV 太陽能電池等行業(yè)。

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