EZ4-S參數(shù)
1.轉(zhuǎn)速范圍：100-9999RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM
2.大單步步長3000S，旋轉(zhuǎn)時間分辨率1S
3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S
4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物
5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面，簡單易用
6.快速運行和程控運行可選，多5組5步的程控操作模式
7.100W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入
.標配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）
9.乳白色PP耐腐蝕外殼，耐腐蝕開模內(nèi)腔
10.外型尺寸：210(W)*265(D)*213(H)
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