敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

測量精度

直線測量精度主要取決于

• 光柵質(zhì)量，

• 光柵基體質(zhì)量，

• 掃描質(zhì)量，

• 信號(hào)處理電子電路質(zhì)量和

• 光柵尺在機(jī)床內(nèi)的安裝情況。

可將這些因素細(xì)分為特定編碼器的位置誤 差和應(yīng)用相關(guān)的因素。為評(píng)估可獲得的系 統(tǒng)精度，必須綜合考慮各項(xiàng)因素中每一 項(xiàng)。

特定光柵尺位置誤差

特定光柵尺位置誤差包括

• 測量基準(zhǔn)的精度，

• 細(xì)分精度，和

• 位置信號(hào)噪音。 測量基準(zhǔn)的精度 測量基準(zhǔn)的精度主要取決于

• 光柵的均勻性和柵距定義，

• 光柵與其基體找正情況，和

• 光柵基體的穩(wěn)定性。

測量基準(zhǔn)的精度由未補(bǔ)償?shù)幕€誤差大 值表示。在理想條件下，用批量生產(chǎn)的讀 數(shù)頭測量位置誤差，用于確定該精度。測 量點(diǎn)之間的距離等于信號(hào)周期的整數(shù)倍。 因此，細(xì)分誤差無影響。

精度等級(jí)a決定長度不超過一米的長度范 圍內(nèi)基線誤差上限。對于特殊光柵尺，還 提供已定義的測量基準(zhǔn)間距的基線誤差。

細(xì)分精度

細(xì)分精度主要受以下因素影響

• 信號(hào)周期大小，

• 光柵的均勻性和柵距定義，

• 掃描掩膜質(zhì)量，

• 傳感器特性，及

• 信號(hào)處理質(zhì)量。

細(xì)分精度由大批量生產(chǎn)的測量基準(zhǔn)確定， 并用細(xì)分誤差的大典型值u表示。帶模 擬接口的光柵尺用海德漢電子設(shè)備（例如 EIB 741）測試。該大值不含位置信號(hào)噪 音，并將其標(biāo)注在技術(shù)參數(shù)中。

細(xì)分誤差在非

敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

LIDA 479，LIDA 489

增量式直線光柵尺，測量范圍可達(dá)6 m

• 測量步距達(dá)10 nm

• 自帶限位開關(guān)

• 鋼尺帶粘結(jié)在安裝面上

• 尺帶和讀數(shù)頭配套使用