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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
? METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm
? SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：不超過8 μm
? OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵，超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm
? TITANID相位光柵：超高可靠
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 4119，LIC 4199 式直線光柵尺，測量長度達(dá)1 m
• 測量步距達(dá)1 nm
• 鋼尺帶，粘結(jié)在安裝面上
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用
海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的 測量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。這些光柵 刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光 柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。 海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制 造精密光柵。
• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵 線；典型柵距：20 μm
• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵；*抗污能力；典型柵距：不超過 8 μm
• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵，超高反光性能；典型柵距：不超過 2 μm
• TITANID相位光柵：超高可靠性的光學(xué) 三維柵線結(jié)構(gòu)和高反光性能；典型柵 距：8 µm 除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有 優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃 描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號 的關(guān)鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線 機(jī)制造。
測量法是指光柵尺或編碼器在通電時 立即提供位置值并隨時供后續(xù)信號處理電 子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零 操作。位置信息由測量基準(zhǔn)上的光柵 讀取，它由系列式編碼組成。將單獨(dú) 的增量刻軌信號進(jìn)行細(xì)分生成位置值，并 根據(jù)接口版本，還生成可選的增量信號。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
