敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 4117，LIC 4197

式直線光柵尺，測量長度達6 m

• 測量步距達1 nm

• 將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中間位置固定

• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用

超高精度

HEIDENHAIN直線光柵尺的突出特點是極小 測量步距、高精度和高重復精度。掃描方 式為干涉掃描，測量基準為OPTODUR相 位光柵。

高精度

LIF敞開式直線光柵尺采用干涉掃描原 理，測量基準為SUPRADUR光柵。其特點 是高精度和高重復精度，特別易于安裝， 并帶限位開關和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于真空度達10–7毫巴的高真空度 應用（參見其單獨的“產(chǎn)品信息”資料）。

高運動速度

敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺設計用于高速運 動，至高速度達10 m/s。多種安裝方式使 其特別易于靈活地部署。多種版本可供選 擇，例如鋼尺帶、玻璃或玻璃陶瓷基體的 METALLUR光柵。也可帶限位開關。

二維光柵尺

PP二維光柵尺的測量基準為干涉掃描的、 由DIADUR工藝制造的平面二維光柵。因 此可測量平面中的位置。

用在真空環(huán)境中的光柵尺 海德漢的標準光柵尺適用于一般或中等真 空應用。如果用于高真空和超高真空環(huán)境 中，光柵尺必須滿足特殊要求。在選擇光 柵尺的結(jié)構(gòu)設計和材質(zhì)中，必須特別滿足 這些條件的要求。更多信息，請參見真空 應用的直線光柵尺“技術(shù)信息”資料。

以下敞開式直線光柵尺于高真空度或 超高真空度的應用： • 高真空度：LIP 481V和LIF 481V • 超高真空度：LIP 481U 更多信息，請參見相應的“產(chǎn)品信息” 資料