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深圳市中圖儀器股份有限公司

顯微測(cè)量|共聚焦顯微鏡大傾角超清納米三維顯微成像

時(shí)間:2024-2-18 閱讀:893
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用于材料學(xué)領(lǐng)域的共聚焦顯微鏡:實(shí)現(xiàn)超高分辨率三維顯微成像測(cè)量的技術(shù)

用于材料科學(xué)領(lǐng)域的共聚焦顯微鏡,基于光學(xué)共軛共焦原理,其超高的空間分辨率和三維成像能力,提供了全新的視角和解決方案。


工作原理

共聚焦顯微鏡通過(guò)在樣品的焦點(diǎn)處聚焦激光束,在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析。


儀器結(jié)構(gòu)

共聚焦顯微鏡主要有四部分組成:1、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)。2、掃描裝置。3、激光光源。4、檢測(cè)系統(tǒng)。整套儀器由計(jì)算機(jī)控制,各部件之間的操作切換都可在計(jì)算機(jī)操作平臺(tái)界面中方便靈活地進(jìn)行。

圖片1.jpg

一體化操作的測(cè)量分析軟件

(1)測(cè)量與分析同界面操作,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;

(2)可視化窗口,便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程;

(3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;

(4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

(5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;

(6)可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。


特點(diǎn)與應(yīng)用解析

共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是在成像時(shí)只獲取來(lái)自樣品的一個(gè)薄層,而剩余的光信號(hào)被消除,從而消除了深度模糊現(xiàn)象,獲得了超高的空間分辨率。這一特性使共聚焦顯微鏡對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測(cè),分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

圖片3.jpg

VT6000共聚焦顯微鏡共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng)。高度顯示分辨率達(dá)到0.5nm,具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力。如在光伏行業(yè)中,不僅可以對(duì)柵線(xiàn)進(jìn)行快速檢測(cè),還可以對(duì)電池板絨面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。

圖片4.jpg

此外還具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能。

圖片5.jpg


應(yīng)用領(lǐng)域

在材料學(xué)領(lǐng)域,共聚焦顯微鏡能夠用來(lái)觀(guān)察材料的三維結(jié)構(gòu)和特性??蓪?duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

通過(guò)共聚焦顯微鏡超高分辨率的三維顯微成像測(cè)量,可以清晰地觀(guān)察到材料的表面形貌、表層結(jié)構(gòu)和納米尺度的缺陷。這對(duì)于理解材料的微觀(guān)特性和材料工程設(shè)計(jì)具有重要意義。

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