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納米壓印系統(tǒng)的原理
隨著科技的進(jìn)步和發(fā)展，人們從理論和實(shí)驗(yàn)研究中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)許多材料被加工為具有納米尺度范圍的形狀時(shí)，會(huì)呈現(xiàn)出與大塊材料完*不同的性質(zhì)。這些特異的性質(zhì)向人們展現(xiàn)了令人興奮的應(yīng)用前景。在開發(fā)超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的過(guò)程中，如電子束與X射線曝光，聚焦離子束加工技術(shù)等。但這些技術(shù)的缺點(diǎn)是設(shè)備昂貴，產(chǎn)量低，因而產(chǎn)品價(jià)格高昂。商用產(chǎn)品的生產(chǎn)必須是廉價(jià)的、操作簡(jiǎn)便的，可工業(yè)化批量生產(chǎn)的、高重復(fù)性的；對(duì)于納米尺度的產(chǎn)品，還必須是能夠保持它所*有的圖形的精確度與分辯率。
納米壓印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)微米和納米尺度圖形結(jié)構(gòu)的復(fù)制加工，采用單面氣壓方式，有力保證了壓印的均勻性，減少碎片的發(fā)生。中間聚合物轉(zhuǎn)印則可以較大程度保護(hù)原始模具，延長(zhǎng)使用壽命。
納米壓印系統(tǒng)是基于其機(jī)械壓印原理，將具有納米級(jí)尺寸圖案的模板在機(jī)械力的作用下壓到涂有高分子材料的襯底上，進(jìn)行等比例壓印復(fù)制圖案的工藝。其實(shí)質(zhì)就是液態(tài)聚合物對(duì)模板結(jié)構(gòu)腔體的填充過(guò)程和固化后聚合物的脫模過(guò)程。其加工分辨力只與模版圖案的特征尺寸有關(guān)，而不受光學(xué)光刻的*短曝光波長(zhǎng)的物理限制。具有避免使用昂貴的光源及投影光學(xué)系統(tǒng)，不受光學(xué)光刻的*短曝光波長(zhǎng)的物理限制和工藝簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，其高精度、高分辨率、廉價(jià)的特點(diǎn)使其很可能成為下一代重要的光刻技術(shù)，一種重要的微納米復(fù)制技術(shù)。