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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> GT160D-氣體質(zhì)量流量控制器
GT160D氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
技術(shù)特點(diǎn)
GT160D氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實(shí)現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速精確的流量控制。
質(zhì)量流量控制器內(nèi)置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式??赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng),實(shí)現(xiàn)多臺MFC同時控制。
質(zhì)量流量控制器執(zhí)行JJG 1132-2017國家標(biāo)準(zhǔn),所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標(biāo)定,確保產(chǎn)品的精度。
可通過標(biāo)定軟件對氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行標(biāo)定,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。
質(zhì)量流量控制器尺寸非常小巧緊湊,用戶使用時,不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量,同時能夠集成更多的功能模塊。
質(zhì)量流量控制器內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式(H2、N2、Air、Ar、He等),用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進(jìn)行操作選擇。同時,本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品,用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選。
技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 參數(shù)信息 |
大量程 | 50sccm-500sccm(可定制) |
精度 | ±1%F.S. |
氣體類型 | H2/He/N2/Air/Ar(可定制)) |
響應(yīng)時間 | 1s |
壓差范圍 | <1MPa |
工作溫度 | 0~50℃ |
工作濕度 | 0~95%R.H.(非冷凝) |
工作電壓 | 24V±10%/12V±10% |
信號接口 | RS-485(Modbus) |
氣路材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 |
氣路接口 | 1/16 |
尺寸 | 55×46×22mm |
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