日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500
多可同時測量8個點(diǎn)
濃度顯示范圍很廣，從ppm到100％。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進(jìn)一步提高耐用性

日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500

 

氧氣分析儀MS-500

• 多可同時測量8個點(diǎn)
• 濃度顯示范圍很廣，從ppm到100％。
• 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
• 傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
• 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進(jìn)一步提高耐用性

日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500

MS-500設(shè)備規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮池類型
形狀			分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式）
顯示方式			4位數(shù)字顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2　10 -20至10 -0 atm 自動量程
重復(fù)性			在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以較大者為準(zhǔn)小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍
測量點(diǎn)數(shù)			1?8
樣氣條件	壓力		10 -3至200 KPa（壓力）
	流量		0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測量）
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0-100°攝氏度
	其他		請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，氯氣，硫化物氣等），含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣			大氣層
記錄儀輸出			僅變速箱輸出
變速箱輸出			RS-232C
報警輸出			沒有
熱身時間			6分鐘以內(nèi)
尺寸	MS-500（控制器）		92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起）
	MS-510（轉(zhuǎn)換器）		100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起）
	傳感器單元	SD16NW	總長100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51）
		SD25NW	總長100 mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48）
		SD40NW	總長100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，主體部分Φ40×49）
大眾	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510（轉(zhuǎn)換器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用電源			24VDC±10％