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日本能夠評估納米級薄膜附著力的超薄劃痕測試設備
閱讀：184 發(fā)布時間：2021-3-26| 提 供 商 | 秋山科技（東莞）有限公司 | 資料大小 | 26.1KB |
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日本能夠評估納米級薄膜附著力的超薄劃痕測試設備
關于評價薄膜的物理強度的方法
我們將介紹用于評估薄膜的附著力和摩擦磨損的各種測試方法的概述，適用的標準以及Resca已將其制成設備的相關測試機。
由于材料和產品的表面容易受到外部機械刺激，因此通常會形成保護涂層或PVD / CVD膜。這些保護膜需要足夠強的物理強度以不受這些外部因素的影響，以便保護基板不受外部因素的影響。根據這些物理強度，我們將報告膜與基材之間的粘附強度（粘附力）和摩擦磨損的評估方法。
附著力（附著力）
粘附力是指薄膜原子與發(fā)生在界面上的基底原子之間的相互作用。
Fowkes的近似公式如下所示，該公式通過薄膜的表面自由能和基板的表面自由能來表示該界面處的自由能。
從界面的狀態(tài)（薄膜和基底粘附在一起），將薄膜和基底分離所需的能量被認為是粘附能，并且薄膜和基底的表面自由能之和基材的表面自由能和界面自由能之間的差異被認為是粘附能。將上述近似公式代入該公式中，假設薄膜和基板的表面自由能越高，則粘附能越容易粘附，如以下公式所示。
粘接強度（粘接強度）評價方法
作為評價膜的密合性（密合性）的方法，通常使用格網試驗（劃格法），拉伸試驗，剝離法，刮擦法。除這些測量方法外，薄膜的微劃痕法的測量范圍如下所示。
進行木板測試（橫切法）
符合JIS K5600（通用油漆測試方法）和JIS D0202（用于汽車零件的通用涂層方法）使用
鋒利的刀片在薄膜表面上形成幾毫米見方的網格狀缺口，并粘貼膠帶。該方法是將粘貼在膠帶上的薄膜的小面的數(shù)量作為剝離膠帶時的粘合強度的指標（粘合強度/粘合強度）的方法。定量評價是困難的，并且其不能應用于粘合強度（粘合強度/粘合強度）高于膠帶的粘合強度的膜。
拉伸試驗
垂直將桿粘附到已制成的膜上，然后垂直拉動桿（直接剝離方法），向側拉桿（拉動方法），或扭轉桿（扭曲方法），這樣做會剝落薄膜并需要施加力在那個時候就獲得了。粘合強度（f）由下式計算為由所獲得的力（F）作用在膜界面上的最大應力。（桿的半徑為r，桿的高度為h）
- 直接剝離法（f = F /πr2）
- 拉動方式（f = 4Fh /πr3）
- 扭轉法（f = 3F /2πr3）
同樣在該評估方法中，必須將桿粘合到膜上，并且不能像網格剝離法那樣將其施加到具有比粘合劑高的粘合強度的膜上。