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日本napson定制產(chǎn)品電阻參考晶片：NRW系列

產(chǎn)品特點(diǎn)

NRW系列是標(biāo)準(zhǔn)的硅晶片，已經(jīng)通過電阻測量領(lǐng)xian公司Napson的嚴(yán)格測量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了電阻評估/認(rèn)證。它使用已被中子輻照的高度穩(wěn)定的晶片。

Napson的4探針電阻測量設(shè)備通過電阻標(biāo)準(zhǔn)晶圓（NIST，VLSI）進(jìn)行校準(zhǔn)，并由以下SEMI標(biāo)準(zhǔn)，日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JIS）和美國材料測試協(xié)會（ASTM）定義。符合標(biāo)準(zhǔn)。

<符合標(biāo)準(zhǔn)>

[SEMI標(biāo)準(zhǔn)]

 SEMI-MF43-99，SEMI-MF374-02，SEMI-MF84-02，SEMI-MF1529-02

[美國測試與材料學(xué)會]

 ASTM-F-84-99（SEMI-MF84），ASTM-F-374-00a，ASTM-F-390-11，ASTM-F-1529-97

[日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)]

 JIS-H-0602-1995

測量規(guī)格

<通用規(guī)格>

?材質(zhì)：硅

?制造方法：FZ法

?表面處理：包裹

?晶體方向：（1-1-1）±1度

?摻雜：N型（磷）

?晶圓尺寸：Φ100mm（4英寸）

?晶圓厚度：*取決于電阻類型。請參考下表。

<晶圓陣容/規(guī)格>