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技術(shù)文章

目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運(yùn)用

閱讀:435          發(fā)布時(shí)間:2025-2-5

目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運(yùn)用

什么是硅晶圓?

是半導(dǎo)體芯片的原材料,以及稱為ingot的高硫化硅的原材料被處理成薄磁盤。為了在其上應(yīng)用超精細(xì)處理,在鏡子上重復(fù)并完成拋光過(guò)程,例如包裝和拋光。您可以將其視為最平坦的事情。至于確認(rèn)掉落的灰塵,可用于大學(xué)研究的4英寸喚醒(100φ)很便宜,而且處理很容易。過(guò)去,沒(méi)有目的是確認(rèn)灰塵。
*它與用于粘合劑的硅酮不同。
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☆過(guò)去,那些份額的粘合劑紙被用于相同的目的。我從未直接比較可見(jiàn)性,但我認(rèn)為大約兩位數(shù)變得更容易。

如何使用硅晶圓

[在硅Waeha中檢查垃圾的程序]

  • 準(zhǔn)備干凈的臺(tái)面,因?yàn)樗且环N簡(jiǎn)單的類型。如果您不這樣做,您將不知道何時(shí)附著垃圾。

  • 清理長(zhǎng)凳上的硅晶片,并保持表面無(wú)垃圾。使用專用的鑷子進(jìn)行工作,以免遵守處理。

  • 將其放在晶圓盒中,并在要檢查的過(guò)程中將其暴露在一定時(shí)間段內(nèi)。

  • 結(jié)束后,蓋上箱子并將其攜帶在長(zhǎng)凳上并觀察它。

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用法的圖像

[在每個(gè)過(guò)程中粘貼掉灰塵的量]

例如,假設(shè)您有以下生產(chǎn)線。該過(guò)程A使用設(shè)備,然后運(yùn)輸和存儲(chǔ),并正在處理手頭上工作的過(guò)程B。以前,在最終檢查過(guò)程中,在此行中發(fā)現(xiàn)了垃圾缺陷的發(fā)現(xiàn),如果是NG,將從過(guò)程中進(jìn)行修復(fù)。

即使您采取垃圾措施,如果您不知道垃圾將遵守該過(guò)程的位置,則可以提高整個(gè)清潔室的清潔度,從而依靠粒子柜臺(tái)的價(jià)值或教育工人進(jìn)行教育清潔房間的舉止。
在這種情況下,對(duì)于諸如設(shè)備中的駕駛系統(tǒng)或存儲(chǔ)問(wèn)題之類的情況,它幾乎無(wú)效。

但是,如果使用硅Waeha來(lái)收集灰塵的樣本,那么您在廢棄的時(shí)間內(nèi)增加了多少?您可以轉(zhuǎn)換為單位區(qū)域并預(yù)測(cè)垃圾附件。此外,由于可以在每個(gè)過(guò)程中單獨(dú)完成,即使您采取措施,也可以采取可以預(yù)期具有最小和最大效果的措施

。 此外,硅晶片可以與清理一樣多次使用,因此對(duì)于測(cè)量而言,它的成本很小。
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?在設(shè)備驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中灰塵
,清潔不足
?過(guò)程 - 特定灰塵
?由于運(yùn)輸過(guò)程中的振動(dòng)而引起的附件
?運(yùn)輸過(guò)程中的中間環(huán)境
?而不是更換登機(jī)
?存儲(chǔ)內(nèi)部的清潔不足
?存儲(chǔ)期間的空氣環(huán)境
?工人附著的垃圾
?工具附著的垃圾
?工作臺(tái)調(diào)整
[補(bǔ)充 - 質(zhì)量可視化]

該方法不能判斷為秋季和塵埃的大小和大尺寸的“定量",因此它是“定性可視化"。但是,我們可以判斷其中有多少(接近),因此我們認(rèn)為它可以用作客觀標(biāo)準(zhǔn)。

在硅晶片中看起來(lái)像什么?

[硅晶圓粘合劑的外觀是什么樣的?這是給出的

那么實(shí)際上是什么樣的?右側(cè)的照片是一般環(huán)境中的硅晶圓盒,它是用帶有滴和灰塵的攝像機(jī)閃光燈拍攝的。您根本看不到掉落的灰塵。當(dāng)然,您幾乎無(wú)法用正常的燈肉眼檢查垃圾。
但是,接下來(lái),您會(huì)看到相同的晶圓被多元的光照射,并且掉落的灰塵清楚地附著。目前,訣竅是在低角度以低角度照射偏振光,以免發(fā)生強(qiáng)反射。這樣,只出現(xiàn)晶圓上的垃圾。

這種方法的優(yōu)點(diǎn)之一是很容易拍照,但底部照片是上述照片的修剪。如果有些像纖維一樣,您可以清楚地檢查垃圾的形狀。在視覺(jué)確認(rèn)的情況下,最小的確認(rèn)可以確認(rèn)為約10μm。

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觀察硅waeha的灰塵

[觀察硅Waeha中的灰塵]

接下來(lái),讓我們嘗試根據(jù)周圍環(huán)境的掉落和灰塵的變化。首先,我們準(zhǔn)備了三個(gè)硅晶片,暴露于1)沒(méi)有假期的辦公室,2)戶外1F和3)30分鐘。右側(cè)的照片是收集和拍照的照片。

1)假日辦公室...它不受歡迎,并且是最美麗的,因?yàn)樗皇軞g迎且沒(méi)有浮動(dòng)的灰塵。但是,您會(huì)看到一些相對(duì)較大的且輕便的異物附著。

2)1F戶外...最大的粘合劑量暴露于交通面臨的位置。大小有點(diǎn)小,其中許多是灰塵。

3)室外14F:您可以看到該數(shù)字小于1F。此處的目標(biāo)粒子是由于尺寸小而掉落得非常緩慢的粒子。因此,它漂浮在空中一段時(shí)間,但最終掉落。因此,位置越高,濃度越薄,而另一個(gè)則傾向于更靠近表面。
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轉(zhuǎn)移并觀察粘附灰塵

[轉(zhuǎn)移并觀察粘合灰塵]

以同樣的方式,您可以將灰塵從干凈的房間中的手套和雨雨等工具轉(zhuǎn)移到硅晶圓上并進(jìn)行檢查。

用干凈的雨刮器清理后,照片是晶圓的頂部。如果垃圾簡(jiǎn)單地放在硅晶片上,則可以用干凈的刮水器 +工業(yè)酒精輕松將其除去。換句話說(shuō),可以低成本使用回收利用,因此您幾乎無(wú)法以這種方式關(guān)心運(yùn)行成本。
*由于干凈的長(zhǎng)凳沒(méi)有用于拍攝,因此并非垃圾零。

接下來(lái),讓我們用手套輕輕觸摸晶圓。目前,我只是稍微觸摸了它,而無(wú)需付出任何努力。

最后,在晶圓上觀察到我的鐘燈。觸摸后,您會(huì)看到垃圾連接到手指的形狀上。
這樣,您也可以從目標(biāo)中轉(zhuǎn)錄垃圾。
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*在上面的實(shí)驗(yàn)中,去除層狀光的綠色過(guò)濾器進(jìn)行攝影。在視覺(jué)確認(rèn)的情況下,似乎很容易看到它何時(shí)具有綠色過(guò)濾器。
在這種情況下是有效的
  • 確認(rèn)在清潔室和產(chǎn)品等候區(qū)域的存儲(chǔ)位置的一定時(shí)間內(nèi)確認(rèn)垃圾

  • 在特定過(guò)程中附有多少垃圾?

  • 在難以測(cè)量的地方(例如在爐子或設(shè)備中)是否有垃圾粘附?

  • 確認(rèn)清潔設(shè)備的性能,例如干凈的攤位,干凈的長(zhǎng)凳和空氣淋浴

硅晶圓晶圓盒 /專用鑷子

北極光和最佳伴侶,硅瓦哈人是對(duì)下降和灰塵的有力確認(rèn)。易于-to -handle One -poce蓋,帶有彈簧的盒子(由聚丙烯制成),也可以同時(shí)使用專用的鑷子。
請(qǐng)從以下查詢表中使用。
*銷售方法是一組4英寸的硅晶片,還有一件箱子。請(qǐng)注意,我們不出售25個(gè)盒式磁帶。
  • 4英寸硅晶圓套件

  • 4英寸Wakehaha-只有鑷子

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