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控制溫度的目的可對(duì)威海凈化車間帶來好處
控制溫度的目的可對(duì)威海凈化車間帶來好處
凈化車間與普通車間不同之處就在于內(nèi)部的空氣質(zhì)量的潔凈度。濕度控制它是凈化車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是凈化車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。
打比方在大型集成電路生產(chǎn)的光刻環(huán)光工藝中，玻璃和硅片作為掩膜板數(shù)據(jù)的熱膨脹系數(shù)的差異越來越小。直徑100um硅片，溫度上升1度，導(dǎo)致0、24度um線性膨脹是必要的±0.恒溫1度，共同要求濕度值較低。因?yàn)槿顺龊?，以后?huì)污染產(chǎn)品，尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間，不會(huì)超過25度。濕度過高會(huì)導(dǎo)致更多的問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁會(huì)結(jié)露。如果發(fā)生在精密裝置或電路中，會(huì)造成各種事故。當(dāng)相對(duì)濕度達(dá)到50%時(shí)，很容易生銹。但是，對(duì)于大多數(shù)，為了防止外部污染侵入，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。保持壓差一般應(yīng)符合以下原因:
控制溫度的目的可對(duì)威海凈化車間帶來好處
1.潔凈度等級(jí)高的空間壓力高于相鄰潔凈度等級(jí)低的空間壓力
2.相通潔凈室之間的門應(yīng)打開潔凈度等級(jí)高的房間
3.青島凈化車間的壓力高于非潔凈空間的壓力。保持壓差取決于新風(fēng)量，這應(yīng)該能夠補(bǔ)償在這種壓差下從縫隙漏出的風(fēng)量。因此，壓差的物理含義是通過潔凈室各種縫隙泄漏或通風(fēng)時(shí)的阻力。由于潔凈室主要依靠空氣的稀釋來減少室內(nèi)污染的程度，主要采用通風(fēng)次數(shù)的概念，而不是直接采用速度的概念，但對(duì)室內(nèi)氣流速度也有以下要求:
1.出風(fēng)口氣流速度不直太大，與簡單的空調(diào)房相比，速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。
2.吹水平面的氣流速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不直太大，以免吹出表面顆粒回流，造成再污染。這個(gè)速度一般不直干0.2m/s。
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司主要從事凈化工程的設(shè)計(jì)、無塵車間施工、潔凈廠房檢測工程后期裝修、設(shè)計(jì)及空調(diào)通風(fēng)設(shè)備系統(tǒng)安裝。公司設(shè)計(jì)承建各種不同類型的凈化廠房、凈化車間、無塵車間及無菌室，標(biāo)準(zhǔn)要求和GMP規(guī)格要求的潔凈廠房系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、檢測等綜合性成套服務(wù)。
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