在現(xiàn)代化電子行業(yè)生產(chǎn)中，集成電路zui明顯的特征就是:產(chǎn)品的體積,在不斷的縮小.這一變化使得生產(chǎn)過程中超純水的水質(zhì)要求也愈來愈高,對純水器等設備的要求也就越來越嚴格。特別是在電子工廠,潔凈廠房設計中純水供應是重要內(nèi)容之一，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)、水量要求均不相同。
在電子物品生產(chǎn)中,超純水系統(tǒng)應根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，結合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況，通過技術經(jīng)濟比較來選擇。純水系統(tǒng)的原水水質(zhì)因各地區(qū)、城市的水源不同相差很大，有的城市以河水為水源，即使是河水，其河水的源頭和沿途流經(jīng)地區(qū)的地質(zhì)、地貌不同，水質(zhì)也是不同的；有的城市以井水為水源，井的深度不同、地域不同、地質(zhì)構造不同均會千差萬別；現(xiàn)在不少城市的水源包括河水、湖水、井水等，有的城市各個區(qū)、段供水水質(zhì)也不相同。所以純水系統(tǒng)的選擇，根據(jù)原水水質(zhì)的不同，差異很大，是否選擇原水預處理，預處理設備的種類、規(guī)模都與原水水質(zhì)有關。因此電子工廠潔凈廠房的超純水機系統(tǒng)的選擇應根據(jù)原水水質(zhì)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，結合純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量以及當時、當?shù)氐募兯O備、材料供應等情況，綜合進行技術經(jīng)濟比較確定。
在超大規(guī)模集成電路的超純水水質(zhì)中，優(yōu)先關注的水質(zhì)指標為：電阻率、微粒、TOC(總有機硅)、硅、堿金屬、堿土金屬、重金屬、溶解氧等。
水溶液之所以導電，是因為水中各種溶解鹽都是以離子態(tài)存在的，在集成電路芯片制造過程中，與硅片接觸的水所含離子越多，對產(chǎn)品良率影響就越大。電阻率反映了超純水中離子的含量，超純水的電阻率越高，其純度也就越高。一般來講，在25℃時，理論純水的電阻率是18.24MΩ·cm。
微粒數(shù)也是衡量超純水純度的指標。在集成電路光刻工序的清洗用水中如果含有不純物質(zhì)或微粒，將導致柵氧化膜厚度不均，產(chǎn)品圖形發(fā)生缺陷，耐壓性能變壞，一般以圖形尺寸的1/10為粒徑的評價對象。超純水中的微量有機物會影響柵氧化膜的絕緣耐壓性能，堿金屬、堿土金屬、重金屬則使產(chǎn)品結晶不良，柵氧化膜的絕緣耐壓性能變壞，而超純水中的溶解氧將促使硅片表面的氧化膜提前自然形成，有報道稱甚至溶在水中的氮氣也對清洗效果帶來影響。在超純水中，細菌的影響與TOC、微粒基本相同，主要是因為在系統(tǒng)里的繁殖使它成為有機物和微粒的發(fā)源地。
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