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白光干涉測厚儀的基本原理

閱讀:1474      發(fā)布時間:2023-4-23
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白光干涉測厚儀是用來測量材料及物體厚度的儀表。在工業(yè)生產(chǎn)中常用來連續(xù)或抽樣測量產(chǎn)品的厚度(如鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料)。設(shè)計、安裝測厚儀時要在可能的條件下盡量靠近工作輥,目的是降低板厚的滯后調(diào)整時間??梢杂脕碓诰€測量軋制后的板帶材厚度,并以電訊號的形式輸出。該電訊號輸給顯示器和自動厚度控制系統(tǒng),以實現(xiàn)對板帶厚度的自動厚度控制。

 

白光干涉測厚儀的基本原理:

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

 

白光干涉測厚儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

 

白光干涉測量法已被用來測量微間隙的厚度。采用這種方法來顏值浮動塊。浮動塊作為磁傳感器的載體,它與磁盤表面考得很近。如果正確設(shè)計浮動塊的表面形狀,并在其上施加適當(dāng)?shù)妮d荷,由于在旋轉(zhuǎn)的盤片上存在附面層,于是在浮動塊下形成自起作用的空氣軸承。


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