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 　　X射線光電子能譜儀一般由X射線源、電子能量分析器、電子探測(cè)器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)，以及其他附件構(gòu)成。除了數(shù)據(jù)系統(tǒng)外，其他部件都要在超高真空下運(yùn)行。原因在于，在超高真空下光電子可以避免與殘余氣體分子發(fā)生碰撞損失，另一方面樣品表面也可以避免吸附殘余氣體分子而影響樣品結(jié)果。X光源激發(fā)到樣品上，樣品表面的電子被激發(fā)出來，經(jīng)過傳輸透鏡。此后通過電子能量分析器對(duì)光電子的動(dòng)能進(jìn)行分辨，再通過電子探測(cè)器對(duì)電子進(jìn)行計(jì)數(shù)。到達(dá)數(shù)據(jù)系統(tǒng)進(jìn)行分析，就可以呈現(xiàn)出X射線光電子能譜。