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 　　安捷倫紅外顯微鏡是納米測量和成像的工具。該系統(tǒng)提供三維數(shù)據(jù)。測量是非破壞性的，無需制備樣品。此外，機(jī)械運(yùn)動平臺允許批量的，預(yù)編程測量，使用大型花崗巖自動X/Y/Z樣品臺可測試尺寸達(dá)不同區(qū)域，用戶甚至可以定制更大的移動樣品臺。不是直接采集紅外光譜與樣品相互作用后的信號，而是通過原子力探針采集檢測區(qū)域吸收紅外激光后發(fā)生的熱形變，因此能夠?qū)⑿盘柕牟杉秶窒拊谔结樶樇馀c樣品接觸的狹窄區(qū)域，因此它的空間分辨率僅受針尖大小影響。