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詳細(xì)介紹
安晟1200℃立式管式氣氛爐適用范圍：
1200度立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
安晟1200℃立式管式氣氛爐產(chǎn)品概述：
1200度立式管式氣氛爐的*設(shè)計能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對樣品快速升降溫，四面加熱，溫場更均勻，立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢，爐體垂直安裝在可移動支架上有利于爐管取放溫度的均勻性，可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)狻⒀鯕?、一氧化碳、氨分解氣等氣體，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，特別適合薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、快速退火等實驗需要！
| 工作溫度 | 1100℃ |
| z高溫度 | 1200℃(z高可選1700℃) |
| 溫區(qū)長度 | 400mm（可根據(jù)需求定制） |
| 恒溫區(qū) | 200mm |
| 爐管尺寸 | Φ50*1000mm |
| 溫控方式 | 30段PID微電腦可編程自動控制 |
| 控溫精度 | ± 1℃ |
| 溫控保護(hù) | 具有超溫及斷偶報警功能 |
| 加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
| 加熱元件 | 高電阻電熱合金絲 |
| 工作電壓 | AC 220V 單項 50 Hz |
| z大功率 | 3KW |
| 凈重 | 70KG |
| 爐膛材料 | 采用多晶陶瓷纖維，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng) |
| 法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
| 密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn) |
| 真空度 | 雙極旋片機(jī)械泵：10^-2 torr 泄漏率<5 mtorr / min |
| 供氣系統(tǒng) | 該爐配有浮子流量計，客戶可通過浮子流量計或質(zhì)子流量計控制氣體的流速 |
| 爐管材質(zhì) | 氣煉石英管 |
| 氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
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