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技術(shù)文章

潔凈室無(wú)塵室的等級(jí)區(qū)分

閱讀:1331          發(fā)布時(shí)間:2018-6-10

潔凈室無(wú)塵室的等級(jí)區(qū)分無(wú)塵布的適用范圍很廣,只有潔凈要求比較高的,都會(huì)用到,比如,LCD組裝,或是一些表面清潔等   無(wú)塵室根據(jù)潔凈程度不同分很多等級(jí)   目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無(wú)塵室等級(jí)大都為1000級(jí)和100級(jí)的居多   數(shù)字越小,潔凈等級(jí)越高   1000級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過(guò)1000顆   100級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過(guò)100顆   注意了,每個(gè)等級(jí)所管控的顆粒大小也不一樣   依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。   無(wú)塵室等級(jí),無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn),無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)定義

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