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EPK測厚儀技術(shù)參數(shù)
探頭 特性 | F1.5，N0.7，F(xiàn)N1.5 | F2 | F5，N2.5，F(xiàn)N5 | F15 | ||
| F | N | F | F | N | F | |
| EPK測厚儀測量范圍 | 0-1.5mm | 0-0.7mm | 0-2mm | 0-5mm | 0-2.5mm | 0-15mm |
| 使用范圍 | 小工件，薄涂層，跟測量支架一起使用 | 粗糙表面 | 標準探頭，使用廣泛 | 厚涂層 | ||
| 測量原理 | 磁感應(yīng) | 電渦流 | 磁感應(yīng) | 磁感應(yīng) | 電渦流 | 磁感應(yīng) |
| 信號處理 | 探頭內(nèi)部32位信號處理（SIDSP） | |||||
| 度 | ±（1μm 0.75%讀值） | ±（1.5μm 0.75%讀值） | ±（5μm 0.75%讀值） | |||
| 重復(fù)性 | ±（0.5μm 0.5%讀值） | ±（0.8μm 0.5%讀值） | ±（2.5μm 0.5%讀值） | |||
| 低端分辨率 | 0.05μm | 0.1μm | 1μm | |||
| zui小曲率半徑（凸） | 1.0mm | 1.5mm | 5mm | |||
| zui小曲率半徑（凹，外置探頭） | 7.5mm | 10mm | 25mm | |||
| zui小曲率半徑（凹，內(nèi)置探頭） | 30mm | 30mm | 30mm | |||
| zui小測量面積 | Φ5mm | Φ10mm | Φ25mm | |||
| zui小基體厚度 | 0.3mm | 40μm | 0.5mm | 0.5mm | 40μm | 1mm |
| 連續(xù)模式下測量速度 | 每秒20個讀數(shù) | |||||
| 單值模式下zui大測量速度 | 每分鐘70個讀數(shù) | |||||
SIDSP技術(shù)詳解
MiniTest 720/730/740涂層測厚儀
-創(chuàng)新的SIDSP（探頭內(nèi)部數(shù)字信號處理）技術(shù)提升了測量的性
-測量范圍達15mm，可更換F、N或FN探頭，供內(nèi)置或外接探頭使用
-FN探頭自動識別F（鐵磁性）或N（非磁性）基體，操作方便不易出錯
