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API激光干涉儀操作步驟

2024-1-24  閱讀(1035)

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美國(guó)api激光干涉儀操作步驟

?首先將激光干涉儀放置于所需測(cè)量機(jī)器的工作平臺(tái),讓激光照射的方向大致與所測(cè)軸運(yùn)動(dòng)方向平行。
?打開(kāi)激光干涉儀下面的磁力座開(kāi)關(guān)(如平臺(tái)非鐵件,需安裝- ~鐵板以便磁力座更好的吸附)。
?將機(jī)器所測(cè)量軸移動(dòng)至近處軟限位位置。
?將1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機(jī)器運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下穩(wěn)定不會(huì)晃動(dòng)的零部件上。(反射鏡與干涉儀均可作為運(yùn)動(dòng)測(cè)量t )
?激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后,檢測(cè)測(cè)量軸在做全程運(yùn)動(dòng)時(shí)能有效的接收激光照射且不會(huì)碰到反射鏡及機(jī)器的任意部件。

?氣象站材料溫度傳感器和空A氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請(qǐng)放置于機(jī)器的工作臺(tái)面上。

XD Laser激光干涉儀的測(cè)試方法:

直線(xiàn)度測(cè)量

 — 應(yīng)用良好的PSD技術(shù):光電位置敏感檢測(cè)器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))
 — 不怕斷光,可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類(lèi)似于自準(zhǔn)直儀)
 — 對(duì)直線(xiàn)度進(jìn)行1:1的測(cè)量
 — 可一次性安裝, 與線(xiàn)性誤差一起測(cè)量, 方便, 快速

垂直度測(cè)量

—  API XD激光干涉儀是通過(guò)PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線(xiàn)度測(cè)量的,所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可,
— 無(wú)需其他鏡組裝/調(diào)非常方便快速
— 在測(cè)兩軸的垂直度的同時(shí),兩軸各自的線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度,偏擺角、俯仰角都可一次測(cè)出,
— 大大節(jié)省了測(cè)量所占用機(jī)床的時(shí)間,也可避免人為差錯(cuò)。

偏擺角/

俯仰角測(cè)量

— 良好的PSD技術(shù)來(lái)測(cè)量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后,如果軸無(wú)角度變化,則光線(xiàn)經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上;
— 如果軸有角度變化,則光線(xiàn)會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值,從而與焦距比較得出角度值。
— 測(cè)量角度過(guò)程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試。不受滾動(dòng)角的影響,調(diào)整光路容易 。

美國(guó)API激光干涉儀 XD-1D/ XD-3D/ XD-5D/ XD-6D主要技術(shù)參數(shù):

功能型號(hào)單位XD-1D一維型xd-3d三維型xd-5d三維型xd-6d三維型
標(biāo)準(zhǔn)型精密型標(biāo)準(zhǔn)型精密型標(biāo)準(zhǔn)型精密型
線(xiàn)性測(cè)量范圍m45
4545404545
線(xiàn)性精度ppm0.5
0.50.50.20.50.2
直線(xiàn)度測(cè)量精度unN/AN/A

(2.0+0.4/m)

或2%

(1.0+0.2/m)

或1%

(0.5+0.1/m)

或1%

(1.0+0.2/m)

或1%

(0.5+0.1/m)

或1%

偏擺角及俯仰角精度

 

角秒N/AN/AN/A

(1.0+0.1/m)

或1%

(0.5+0.05/m)

或1%

(1.0+0.1/m)

或1%

(0.5+0.05/m)

或1%

滾動(dòng)角精度角秒N/AN/AN/AN/AN/A1.0或1%0.5或1%
垂直度測(cè)量精角秒N/AN/A(1.0+0.4/m)(1.0+0.2/m)(1.0+0.2/m)(1.0+0.2/m)(1.0+0.2/m)
材料溫度傳感器精度0.10.10.10.10.10.10.1
空氣溫度傳感器精度0.20.10.20.2

0.1

0.20.1
大氣壓力傳感器精度mm Hg1.00.30.31.00.31.00.3


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