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詳細(xì)介紹
日本電子二手掃描電鏡：主要特長
電子光學(xué)系統(tǒng) JSM是株式會(huì)社升級(jí)版機(jī)型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間，分辨率高。
操作舒適快捷 JSM-IT200A擁有非常直觀的操作系統(tǒng)，即使沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶也可進(jìn)行操作高品質(zhì)的SEM圖像，以及高效率元素分析?？芍С植僮饔|摸屏。
安裝的靈活性 節(jié)省空間，安裝方便。一個(gè)電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。
日本電子二手掃描電鏡(一) 主要性能 |
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二次電子圖像分辨率 | 3.0nm @ 30KV WD 8mm 8.0nm @ 3KV WD 6mm 15.0nm @ 1KV WD 6mm |
背散射電子模式分辨率 | 4.0nm@30KV |
放大倍數(shù) | ×5~×300,000（底片倍率） ×14~×839,724（顯示器倍率） |
探測器 |
二次電子探測器
半導(dǎo)體型背散射電子探測器(技術(shù)) |
圖像模式 |
二次電子圖像
REF像
成份像 (背散射電子圖像)
形貌像 (背散射電子圖像)
立體像 (背散射電子圖像) |
實(shí)時(shí)圖像顯示 |
雙實(shí)時(shí)圖像同時(shí)顯示, 分割實(shí)時(shí)圖像顯示 |
加速電壓 | 0.5KV ~ 30KV |
探針束流 | 1pA ~ 0.3uA |
(二) 電子光學(xué)系統(tǒng) |
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燈絲 | 工廠預(yù)對中鎢燈絲 |
電子槍偏壓 | 無縫式自給偏壓, 連續(xù)調(diào)整 |
電子槍合軸 | 自動(dòng)合軸 |
燈絲加熱 | 自動(dòng)加熱 |
聚光透鏡 | 變焦聚光透鏡系統(tǒng) – 技術(shù) |
物鏡 | 超級(jí)錐形物鏡 |
物鏡光闌 | 1孔固定，可在X和Y方向微調(diào) |
聚焦 | 自動(dòng)/手動(dòng)聚焦 |
像散 | 自動(dòng)/手動(dòng)消像散 |
像散存儲(chǔ)器 | 標(biāo)準(zhǔn)配置，自動(dòng)/手動(dòng)補(bǔ)償像散 |
圖像移動(dòng) | X-Y , ±50um |
(三) 樣品臺(tái) |
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樣品臺(tái)類型 | 全對中樣品臺(tái) |
Traverse 行程
| X : 80mm; Y : 40mm; Z : 5 ~ 48mm; 傾斜 T: -10 ~ +90° 旋轉(zhuǎn) R: 360°連續(xù)endless |
Maximum Specimen Size 最大樣品尺寸 | 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted 可裝直徑150mm高度為48mm的樣品 |
Maximum Size of Observation 最大觀察視野 | 127mm diameter 直徑127mm |
Image Display (四) 圖形顯示 |
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顯示像素 | 640×480,1280×960,2560×1920,5120× |
圖像處理 |
平均值, 灰度修正, 反差增強(qiáng), 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數(shù)碼變焦 |
文件存儲(chǔ)格式 | BMP, TIFF, JPEG |
Operation System (五) 操作系統(tǒng) |
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PC 計(jì)算機(jī) | OS : Windows 10 (英語版) 觸摸屏式臺(tái)式電腦 |
(六) 測量功能 |
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平行線間距測量 |
垂直, 水平, 對角 |
2點(diǎn)之間距離測量 |
任意2點(diǎn)間距離 |
圓的測量 |
直徑
2個(gè)圓中心間距離(觸摸屏操作下不支持此功能) |
角度測量 |
角度 |
面積測量 |
圓和多角形 |
計(jì)數(shù) |
顆粒計(jì)數(shù) |
(七) 真空系統(tǒng) |
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真空度 |
高真空模式 1×10-4Pa |
抽真空時(shí)間 | 3 min
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真空泵系統(tǒng) |
一個(gè)分子泵, 一個(gè)機(jī)械泵 |
(七) 安全裝置 |
斷電,斷水,泄壓,漏電保護(hù) |
(八) 自動(dòng)功能 |
自動(dòng)電子槍控制,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散,自動(dòng)反差和亮度 |
(九) 擴(kuò)展接口 | EDS 能譜儀、Chamber Scope紅外相機(jī)、Probe Current Detector束流監(jiān)視器 |
(十)能譜儀主要性能 |
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探測器 |
電制冷方式Box SDD 探測器 – 不用液氮 |
探頭有效掃描面積 | 25 mm2 |
探測器移動(dòng) | Fixed 固定 |
分辨率 | 130eV or less (ICR 5,000 cps or less) |
元素分析范圍 | Be(4) to U(92) 鈹 至 鈾 |
窗口 |
抗大氣壓的超薄窗 |
取出角 | 35°（WD：10mm） |
制冷方法 | Peltier cooling |
標(biāo)準(zhǔn)搭載功能 | 定性分析 定量分析 活區(qū)面分析 點(diǎn)分析 束流追蹤 |
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