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硅微熔壓力變送器的測量原理基于什么?

閱讀:666      發(fā)布時間:2023-11-11
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   硅微熔壓力變送器是一種高精度的壓力傳感器,具有體積小、精度高、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化、氣體分析、環(huán)保監(jiān)測等領(lǐng)域。
 
  它的核心部分是硅芯片,它具有高靈敏度、高穩(wěn)定性、高抗干擾性等優(yōu)點(diǎn)。硅芯片的制造過程非常復(fù)雜,需要經(jīng)過多道工序才能完成。首先是將硅材料進(jìn)行拋光處理,使其表面光滑,然后通過離子注入、熱處理等工藝,將硅芯片制作成具有彈性、耐高溫、耐腐蝕等特點(diǎn)的傳感器。
硅微熔壓力變送器
  硅微熔壓力變送器的測量原理是基于硅芯片的形變,通過測量形變量來測量壓力值。
 
  當(dāng)外界壓力作用在硅芯片上時,硅芯片會發(fā)生形變,從而引起電阻值的變化,通過測量電阻值就可以得到壓力值。
 
  由于硅芯片的制造工藝非常精確,因此它的測量精度非常高,能夠達(dá)到更高。
 
  除了高精度之外,還具有穩(wěn)定性好、可靠性高、壽命長等特點(diǎn)。
 
  由于硅芯片的材料是硅,是一種化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定的元素,因此不會受到氣體、液體等介質(zhì)的腐蝕和侵蝕,保證了傳感器的長期穩(wěn)定性。
 
  由于硅芯片的體積小,使得整個傳感器的體積也非常緊湊,方便用戶安裝和使用。
 
  硅微熔壓力變送器是一種基于硅微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的壓力傳感器,具有高精度、高可靠性和高穩(wěn)定性的特點(diǎn)。

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