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島津SPM石墨烯厚度測試——應(yīng)對GB/T 40066—2021
近期，國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會發(fā)布了《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》，這一方面意味著石墨烯材料的產(chǎn)業(yè)化工作向前邁進(jìn)了一步，另一方面也表明原子力顯微鏡開始逐步被標(biāo)準(zhǔn)化工作認(rèn)可和接受。
為此，作為有著三十年原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡設(shè)計、開發(fā)、銷售經(jīng)驗的島津，按照新發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)的流程進(jìn)行了產(chǎn)品驗證。結(jié)果表明，島津的原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡產(chǎn)品*符合標(biāo)準(zhǔn)的要求。
本次分析流程*參照《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》附錄A方法一實例進(jìn)行。
01測試儀器：島津SPM-9700HT
02圖像分析軟件：WSxM 5.0 Develop 8.4
03圖像處理過程
經(jīng)SPM-9700HT掃描獲得的原始圖像如下：
利用WSxM軟件Flatten功能處理后圖像如下
按標(biāo)準(zhǔn)利用軟件的Profile功能選取不同位置三條輪廓線，輪廓線方向為SPM-9700HT快速掃描方向（X軸）。
將3條輪廓線數(shù)據(jù)導(dǎo)出，利用EXCEL軟件進(jìn)行處理，分別擬合3條輪廓線的上臺階擬合直線和下臺階擬合直線。
厚度計算：利用標(biāo)準(zhǔn)中的公式計算
公式圖片來源：《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》
結(jié)論
(1)、按照標(biāo)準(zhǔn)計算得知該片氧化石墨烯厚度為0.630±0.039nm，由此可推測這片氧化石墨烯為單層石墨烯。
(2)、島津的原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡產(chǎn)品*符合《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》的要求。