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我國(guó)“超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng)成功實(shí)現(xiàn)自主研制

閱讀:458      發(fā)布時(shí)間:2018-11-9
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近日,中國(guó)電科38所發(fā)布自主研制的新一代無(wú)損檢測(cè)設(shè)備——“超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng),這是*“超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測(cè)能力,成像分辨率小于1微米。
 

 
  隨著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展,封裝工藝對(duì)封裝檢測(cè)設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面,更精細(xì)的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級(jí),但目前上可生產(chǎn)亞微米級(jí)分辨率設(shè)備的廠商;另一方面,隨著芯片制造及封裝過(guò)程中越來(lái)越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料,對(duì)輕元素材料的檢測(cè)需求日益凸顯,對(duì)設(shè)備檢測(cè)范圍提出了更高要求。因此,更高分辨率、更高對(duì)比度、更大檢測(cè)范圍的X射線檢測(cè)設(shè)備,已成為集成電路封裝檢測(cè)行業(yè)發(fā)展的迫切需要。
 
  微焦點(diǎn)X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無(wú)損檢測(cè)的常規(guī)*設(shè)備,廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無(wú)損檢測(cè),能夠觀察物體內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu),其中X射線源的性能則直接決定了此類設(shè)備的檢測(cè)能力。超級(jí)針是一種理論上的jia電子源。
 
  2011年,中國(guó)電科38所提出將超級(jí)針應(yīng)用于微焦點(diǎn)X射線源的開發(fā)。經(jīng)過(guò)近十年的技術(shù)攻關(guān),超級(jí)針X射線成像系統(tǒng)終順利問(wèn)世。目前,中國(guó)電科38所針對(duì)該產(chǎn)品30余項(xiàng)外發(fā)明專li,其中申請(qǐng)美、日、歐等專li12項(xiàng)。
 
  “超級(jí)針”X射線成像系統(tǒng)采用的“超級(jí)針”X射線源專li技術(shù),可在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。該設(shè)備采用的“超級(jí)針”X射線源,因而以“超級(jí)針”冠名,具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點(diǎn)。
 
  中國(guó)電科38所相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,基于超級(jí)針X射線源技術(shù),可面向集成電路、軍工航天、汽車電子、醫(yī)療診斷等不同應(yīng)用領(lǐng)域,開發(fā)系列超級(jí)針X射線成像設(shè)備,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品系列化、多樣化開發(fā),未來(lái)具有較大發(fā)展前景。
 
 

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