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賽默飛世爾環(huán)境與過程

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APIX 系列超高純電子氣質譜分析儀產(chǎn)品彩頁

閱讀：302      發(fā)布時間：2022-02-14
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結合了工藝先進的電子電路和功能強大的過程分析軟件、大氣壓離子化質譜儀（API-MS）使得 Thermo Scientific APIX 生產(chǎn)線提供的分析儀系統(tǒng)成為半導體和電子工業(yè)大宗氣體連續(xù)質量控制的又一選擇。
API-MS 為傳統(tǒng)質量控制技術提供了一個物有所值的替代方案，可以監(jiān)測各種大宗氣體中一系列潛在雜質濃度，同時實現(xiàn)比氣體任何技術更低的檢測限（高達 100 倍）。
APIX 產(chǎn)品線提供了更多完整的雜質分析，包括：H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4、Kr 和 Xe，以及其他需要測量的雜質。隨著 300mm 晶元制造的出現(xiàn)，需對氣體質量標準進行更嚴格的雜質控制，該技術將繼續(xù)成為 ppt 水平檢測的重要方法。

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