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虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐設(shè)備改造中的應用
一、摘要
虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng)，它可根據(jù)生產(chǎn)過程的要求，按照一定的曲線進行控制，多可分59段曲線對象進行編程控制，每一段均采用PID參數(shù)設(shè)定控制，使控制更為可靠，方便靈活的曲線控制功能，可實時監(jiān)控曲線程序段的運行時間和狀態(tài)，多種事件輸入功能。通過多種曲線控制輸出功能，可實現(xiàn)曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進等功能，并可實現(xiàn)手/自動無擾動切換。
二、產(chǎn)品的市場背景
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑、溫度（功率）、原料（硅料）、泄漏率和氬氣質(zhì)量等，其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤自主開發(fā)的虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用。
三、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理
1、軟件采用人工智能控制算法，通過上電自動跟蹤測量值變化，根據(jù)時間和所設(shè)定控制值的函數(shù)關(guān)系分段實現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié)。
2、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線，可實現(xiàn)曲線的步進、跳轉(zhuǎn)、停止、清零等功能。
3、產(chǎn)品在整個單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負責溫度的控制。
四、產(chǎn)品的應用
虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見下圖：
電路說明：交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用，輸出電壓25V，輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊，內(nèi)含晶閘管和移相控制電路，輸出大電壓450V，大電流7，L1為過流保護熔斷器，RSV為過壓保護阻容元件。RW為電爐絲。
NHR-5400輸出為0-10MA電流，經(jīng)過1K電阻后，輸出變?yōu)?-10V直流電壓，滿足晶閘管模塊的輸入電壓要求。
主要控制設(shè)備：虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器
輔助設(shè)備：熱電偶、可控硅、固態(tài)繼電器、過壓保護阻容器件等
根據(jù)單晶爐溫度控制的特點，虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器設(shè)定工藝曲線如下：
按照上述的設(shè)定參數(shù)試驗控制效果ji佳，控制精度可達±0.5°C。
產(chǎn)品圖片:
五、結(jié)束語
采用虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統(tǒng)以來，碲鎘汞單晶爐的控制運行狀況良好，至今仍*出現(xiàn)，*可以替代進口的控制儀表。無論從運行實際狀況來看，還是從性價比來看，選擇NHR-5400確實能夠*要求。