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技術文章

inficon高溫壓力計CDG160D功能簡介

閱讀:637          發(fā)布時間:2024-7-1

德國inficon高溫壓力計CDG160D

 

inficon高溫壓力計CDG160D功能簡介:

INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 真空計溫度控制在 160 °C,具有性能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICOCDG 壓力傳感器品質,成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

inficon高溫壓力計CDG160D優(yōu)點

擁有成本更低,預熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗

易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點

輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點偏移

診斷端口便于快速服務與維護

兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準

合規(guī)和標準:CEEN、UL、SEMI、RoHS

inficon高溫壓力計CDG160D典型應用

ü ECT、CTD、PVD和其他半導體生產工藝

ü 化學和腐蝕性高溫過程

ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護

 

inficon高溫壓力計CDG160D規(guī)格

準確性閱讀%:0.4

精度%0.003

輸出信號(模擬)V (dc)0.. +10

響應時間30ms

暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L )


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