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技術(shù)文章

圖拉特真空計(jì)的應(yīng)用

閱讀:1353          發(fā)布時(shí)間:2023-10-20

Thyracont提供智能型真空計(jì),模擬輸出真空計(jì)以及便攜式現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)真空計(jì)。

Thyracont的數(shù)字Smartline™傳感器帶有現(xiàn)代組合傳感器,可在高真空范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量,提供出色的可靠性和精度。除了經(jīng)典的模擬 0-10 V 輸出外,其數(shù)字接口 RS485、EtherCAT 和 PROFINET 還允許智能連接到 PLC。

 

圖拉特thyracont真空產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:

• 真空包裝:密封壓力的連續(xù)監(jiān)控(不能發(fā)現(xiàn)泄漏)

• 使用產(chǎn)品:

• 密封壓力的連續(xù)監(jiān)控(不能發(fā)現(xiàn)泄漏) à piezo gauge

• 在包裝內(nèi)的VD8密封 (傳輸數(shù)據(jù):泵后曲線、密封壓力、容器密封性)

• 真空干燥:用真空去除物質(zhì)(通常是濕固體)中的水分(真空降低水的沸點(diǎn))

• 干燥壓力(典型為幾mbar)

• 蒸汽滅菌室

• 使用產(chǎn)品:壓電表、皮拉尼表(VCP63MV可蒸汽滅菌!)

• 冷凍干燥:類似于真空干燥,但是:

• 無(wú)液體(冰直接升華為蒸汽)

• 更低溫度(低至-80°C) 和壓力(1e-2mbar – 1mbar)

• 使用產(chǎn)品:皮拉尼壓力表(VCP63MV可以蒸汽滅菌!)

• 真空爐

• 爐內(nèi)產(chǎn)品周圍用真空去除污染/氧化源(如C、O2)

• 典型工藝壓力: 1e-5mbar - 50mbar

• 使用產(chǎn)品: VSM, VSP

• 半導(dǎo)體行業(yè)

• 要求工藝:硅和SiO蒸氣/塵埃

• 使用產(chǎn)品:VSM, VSH

• 粗加工泵在旁路連接中抽真空,用于控制旁路循環(huán),直到達(dá)到真空度,必須精確控制旁路中的絕對(duì)壓力,以防止損壞高真空系統(tǒng),使用產(chǎn)品VSC43

• 

真空表優(yōu)勢(shì):

• 具有16bar的超壓穩(wěn)定性,無(wú)需超壓閥,節(jié)約成本

• 響應(yīng)速度快,精度高

• 防護(hù)等級(jí)最高可達(dá)IP54

• 法蘭處耐溫度,高達(dá)160攝氏度

• 輸出信號(hào):4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統(tǒng)連接

• 100%氦氣泄漏測(cè)試

• 具有16bar的超壓穩(wěn)定性,無(wú)需超壓閥,節(jié)約成本

• 即插即用:

• 可更換傳感器

• 每個(gè)儀器發(fā)貨前都經(jīng)過(guò)調(diào)整和溫度校準(zhǔn)

• 優(yōu)化后的皮拉尼和熱陰極傳感器的過(guò)渡區(qū)。-不再有輸出峰值

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