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進(jìn)口氫氣發(fā)生器的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)介紹

閱讀:438      發(fā)布時(shí)間:2022-1-18
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  為什么會(huì)使用進(jìn)口氫氣發(fā)生器?化學(xué)氣相沉積法是利用氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的物質(zhì)在固體表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),從而形成所需要的固態(tài)薄膜或涂層的過(guò)程,是制備無(wú)機(jī)材料的方法。其中,用氫氣還原鹵化物來(lái)制備各種金屬或多晶硅薄膜是尤為常用的化學(xué)反應(yīng),此還原反應(yīng)的方法應(yīng)用范圍廣泛,可制備單晶、多晶以及非晶薄膜,另外也容易摻雜。作為反應(yīng)中*的還原氣體,氫氣在CVD反應(yīng)中扮演著極其重要的作用。
 
  傳統(tǒng)的方法是使用氫氣鋼瓶作為氫氣氣源,這種方式不僅使用起來(lái)不方便,氫氣是易燃易爆氣體,在運(yùn)輸過(guò)程中還存在極大的安全隱患。因此,氫氣發(fā)生器便成為了代替氫氣鋼瓶的*。如今,進(jìn)口氫氣發(fā)生器已廣泛應(yīng)用于CVD實(shí)驗(yàn),是化學(xué)氣相沉積應(yīng)用的可靠且安全的氫氣氣源。
 
  進(jìn)口氫氣發(fā)生器應(yīng)用優(yōu)勢(shì):
 
  1.高純度:作為反應(yīng)中*的還原氣體,高純度氫氣在CVD反應(yīng)中扮演著極其重要的作用。氫氣中微量氧或水蒸氣等雜質(zhì)會(huì)對(duì)沉積過(guò)程產(chǎn)生很大影響,當(dāng)有氧存在時(shí),沉積物的晶粒劇烈生長(zhǎng),并伴有分層現(xiàn)象出現(xiàn)。氫氣發(fā)生器采用三重過(guò)濾技術(shù),所產(chǎn)氫氣純度>99.9999%,氧氣含量<1ppm,水含量<1ppm,過(guò)濾技術(shù)及氫氣純度都為市場(chǎng)優(yōu)先選擇。
 
  2.安全性:氫氣發(fā)生器因其即產(chǎn)即用、按需供給的特點(diǎn),成為極為安全、可靠的氫氣氣源。采用PEM質(zhì)子交換膜電解純水的原理產(chǎn)生高純氫氣,無(wú)需添加堿液,即插即用,使用方便,而且具有開(kāi)機(jī)自檢、壓力報(bào)警等特性,全面保障發(fā)生器的安全性。
 

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