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北京中慧天誠(chéng)科技有限公司

標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造四探針電阻率測(cè)試儀

時(shí)間:2014-3-6閱讀:640
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四探針電阻率測(cè)試儀產(chǎn)品介紹:
四探針電阻率測(cè)試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問題加以改進(jìn)。
四探針電阻率測(cè)試儀功能特點(diǎn):
1.配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)過程中的電流變化,使操作簡(jiǎn)便,測(cè)量。
3.設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過時(shí),電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過單晶時(shí),電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4.流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(之五精度)的恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測(cè)量精度<3%。
5.儀器采用觸點(diǎn)電阻低(<5mΩ)、使用壽命長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10),在緣電阻、電流容量方面留有大的系數(shù),提高了測(cè)試儀的性和使用壽命。
6.可加配電腦,使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、存儲(chǔ),求平均值,zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7.可配電動(dòng)測(cè)試架,自動(dòng)上下運(yùn)行,使測(cè)量方便快捷。
8.四探針頭采用上的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高。
四探針電阻率測(cè)試儀參數(shù):
電 壓 表:0—199.99mV
靈 敏 度:10μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差:±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
電 阻 率:10-4—1.9×104Ω·cm
方塊電阻:10-3—1.9×105Ω/□
電流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

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