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電子制造業(yè)的無塵車間有哪些特點與技術指標

閱讀:1762      發(fā)布時間:2020-7-23
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電子制造業(yè)包括電子設備(計算機、電視、通訊設備、電子控制、電子儀器等)、電子元件(電阻、電容、電感器、印刷線路板等)、電氣器件(接插元件、電子管、晶體管、集成電路等)以及其原材料(高頻磁性材料、高頻絕緣材料、半導體材料等)的工業(yè)生產企業(yè)。

 

以上這些電子行業(yè)的生產工藝對環(huán)境潔凈度有不同程度的要求,從潔凈度100級、1000級到萬級、十萬級的電子無塵車間都有廣泛的應用,主要控制粒徑0.1-0.5UM的塵埃及細jun污染物,例如線路板PCB生產的照相、制版、SMT、干膜車間,芯片生產的蝕刻、離子注入、CMP車間;封裝企業(yè)的劃片、鍵合車間;電子儀器微電子的裝配車間;半導體材料生產的拉單晶、清洗、外延車間;液晶顯示器生產的陳列板、成盒、STN-LCD車間;鋰電子生產的干工藝車間;電容電阻生產的絲印、流延車間;光導纖維的拉絲、光盤制造車間等等。

 

一、什么是電子制造業(yè)的無塵車間?

 

這類用于生產精密電子產品的無塵車間,共同之處是將一定空間范圍內的空氣塵埃粒子、有害空氣、細jun等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內,而專門設計建造的生產車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化,其室內環(huán)境均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點。

 

根據應用領域和產品的不同,無塵車間也有設計方案上的區(qū)別,因此,電子制造業(yè)的無塵車間設計,也是一項綜合的通風凈化技術。只有充分了解電子制造業(yè)的各車間功能、生產工藝特點等,經合理優(yōu)化的設計,才能創(chuàng)造出符合行業(yè)發(fā)展要求的無塵潔凈環(huán)境,使得電子制造業(yè)的生產效率大大提高。

 

二、電子制造業(yè)無塵車間有什么技術特點?

 

電子無塵車間涵括了多個等級潔凈室的應用,其中千級(粒徑≥0.5UM塵粒,不大于35000顆/立方米)和萬級(粒徑≥0.5UM塵粒,不大于350000顆/立方米)無塵潔凈車間在各個工藝環(huán)節(jié)使用占比較多。車間環(huán)境參數(shù)中的塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度、壓差、設備排風、新風量嚴格按照潔凈規(guī)范控制, 照明、潔凈室截面風速可按用戶實際需求或潔凈規(guī)范受控。另外,電子廠房對靜電防護要求其嚴格,因此對無塵車間的濕度控制指標尤甚,過于干燥車間內部易產生靜電,存在電子元件的損壞風險,而濕度不穩(wěn)定的環(huán)境也會縮短電子產品的車間壽命。一般來說,電子無塵車間的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,可有效地消除靜電,并使車間人員活動感覺舒適。

 

三、概括來說,電子無塵車間有以下技術指標:

 

1. 塵埃粒子數(shù)控制范圍:

 

潔凈度 塵粒至大允許數(shù)/立方米

 

*:靜態(tài)→≥0.5μm→3520;靜態(tài)→≥5.0μm→20

 

B級:靜態(tài)→≥0.5μm→3520;靜態(tài)→≥5.0μm→29

 

C級:靜態(tài)→≥0.5μm→352000;靜態(tài)→≥5.0μm→2900

 

D級:靜態(tài)→≥0.5μm→3520000;靜態(tài)→≥5.0μm→29000

 

態(tài)懸浮粒子檢測儀器:塵埃粒子計數(shù)器

 

2、車間內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)。

 

噪聲檢測儀器:噪聲儀/聲級計

 

3、車間垂直流滿布比不應小于60%,水平單向流不應小于40%。

 

4、無塵車間內與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

 

壓差檢測儀器:壓差儀

 

5、車間室內的新鮮空氣量應取下列二項中的至大值:

 

(1)補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

 

(2)保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

 

7、車間的送風量應取下面三項至大值:保證電子無塵車間空氣潔凈度等級的送風量;根據熱,濕負荷計算確定電子無塵車間的送風量;向無塵車間內供給的新鮮空氣量。

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