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   電感耦合等離子體質(zhì)譜的原理是從10000K高溫的等離子體中通過接口提取離子進入真空度約為10-6Torr的質(zhì)譜儀。樣品以液體氣溶膠(在激光燒灼中是固體顆粒)形式被引入，在等離子體被電離，在此區(qū)域基體和待測元素的離子被引入質(zhì)譜儀進行分離，最后由離子檢測系統(tǒng)進行檢測。這一原理使得ICP-MS具有較好的同位素分析的選擇性和靈敏性。但也因此存在其自身的弱點，樣品是“流人”質(zhì)譜儀，而不是像火焰AAS和ICP -AES那樣“通過”激發(fā)源。這意味著產(chǎn)生熱的問題、腐蝕、化學侵蝕、堵塞、基體沉淀和漂移的可能性都比其它原子譜儀器要高得多。
 

   然而只要充分認識到這一事實，對儀器組件定期檢查可以減輕甚至消除這些潛在的問題。需要定期或半定期檢查和維護的主要區(qū)域是：進樣系統(tǒng)、等離子體炬管、接口區(qū)域、離子光學系統(tǒng)、機械泵、空氣過濾器和循環(huán)水過濾器。
 

   ICP矩管維護保養(yǎng)對于ICP矩管，特別是使用次數(shù)較多的矩管，矩管內(nèi)壁會不斷累積樣品，導(dǎo)致檢測過程出現(xiàn)殘留效應(yīng)，需要定期進行更換清洗。清洗矩管過程中，必須按照廠家手冊操作對ICP矩管進行拆卸清洗，清洗完畢安裝時必須保證各氣路與矩管相接的部分具有良好的氣密性。
 

    對于年限較長的ICP-MS，矩管部分的連接處氣密性差，可以在原有墊圈的基礎(chǔ)上再多加一個橡膠墊圈，并在矩管玻璃上纏一小圈耐高溫生料帶，保證電極針能夠插入的足夠深，以方便點火。