精度=精密度+度
首先解釋一下精度的概念。用戶關注的精度，實際上包含了精密度和度兩項不同的內容。用戶所需求的高精度儀器一方面要有好的測量精密度，即多次測量的離散型要小，另一方面要有好的性，即與真實含量的偏差要小。
精密度
精密度即檢測結果的離散性，通常以多次檢測的標準偏差S來計算，客戶如果更關心多次測量的極差，可以用正負二倍標準偏差來換算，D=±2S，意思是任意兩次檢測結果的差有95%的可能性小于D。對于X熒光光譜儀類分析儀器，精密度的，是與所分析譜線的強度(計數率)密切相關的，對于同一個樣品，通常譜線強度越高，精密度就越好。例如SDD探測器性能優(yōu)于Si-PIN的一個重要指標就是它允許更高的計數通過率，并且保持分辨率不變。
度
另一個反映儀器精度的指標是度，指的是檢測結果偏離真實值的程度，對于能量色散型X熒光光譜儀儀器而言，要得到好的度，首先要有好的解譜算法得到的特征線強度，其次要有好的、合適的定量方法從強度中得到的含量。
譜線強度計算
簡單的計算譜線強度的方法是感興趣區(qū)加和(感興趣區(qū)邊界線性背景扣除)，該算法的重復性誤差較小，可能更容易得到較好的檢測精密度，但這種算法對于重疊譜處理能力很差，在有譜重疊的情況下，難以得到譜線的真實強度。當采用“標準”定量算法時這會帶來很大的度方面的問題，但對于后面將要提到的折線法卻是有利的，因為這種算法的特殊性(非標準算法)可以使經由不的譜線強度得到的含量結果也“看起來很美”。通常，在科學、嚴謹的X熒光光譜儀分析軟件中為了得到較好的定量度，會用到解譜算法，在有重疊譜的時候，能夠將譜線強度計算的盡量。這也是為什么我們采用解譜算法而不是前述簡單強度算法的原因。
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