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差壓式與熱式質量流量計的比較

閱讀:6375        發(fā)布時間:2010-12-1

熱式氣體質量流量控制器/流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量,這種測量方式具有固有的線性,重復性好,高精度,無需預熱,溫漂小等特點;可以同時測量4種參數:氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓,并且可以同時顯示和輸出。雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經過溫壓補償即可以直接測量氣體的質量流量,但是熱式原理產品具有先天性的缺陷:長期加熱的工作模式產生的熱漂移,反應速度慢等缺點是不可避免的。而采用差壓原理的氣體質量流量控制器/流量計幾乎無零點和溫度漂移,反應速度快,無需預熱,上電即可操作,解決了長期困擾客戶的問題。目前,一些的熱式流量計廠家正在紛紛開發(fā)差壓式質量流量計。

ALICAT差壓原理和熱式原理的對照表

指 標 Alicat層流差壓式原理 典型熱式原理
傳感器 固態(tài)硅基差壓傳感器 RTD或熱電偶
流量范圍 滿量程從0.5SCCM到1500SLPM 滿量程從3SCCM到1000SLPM
響應時間 10毫秒(控制器100 毫秒) 0.3-3.0秒
顯示屏 標準,內置 可選項,外部裝配
預熱時間 <1秒 8-30分鐘
累計流量 可選項,內置 可選項,外部裝配
過程數據 內置顯示屏顯示質量流量、體積流量、在線溫度和在線壓力 質量流量
輸出選項 標準內置顯示屏,模擬信號(0-5VDC,0-10VDC,1-5VDC或4-20mA)和標準RS232接口;
可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或壓力
標準模擬輸出,可選顯示屏,可選數字輸出
數字輸出 標準輸出包括質量流量、體積流量、在線溫度、在線壓力、測量氣體;可選累計流量;標準Multi-drop RS232接口 可選質量流量數字輸出;無Multi-drop選項
供應電源 7-30VDC,35mA的標準AC/DC轉換電源;
可使用一個標準的9V電池包供電
特殊供應電源,正和負的穩(wěn)定15VDC
過程連接 標準的NPT或小巧的氣動配件,可選SAE,BSPP等接頭 特制Swagelok?、VCR等
多種氣體測量性 可從內置菜單選擇30種標準氣體 單一氣體,需
固有線性
文件 內置顯示屏顯示型號數、連續(xù)號數、制造日期、校驗技術員和軟件版本、型號/連續(xù)號,簽條也同樣為標準的 產品的貼紙上


 

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