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[供應(yīng)]光刻工藝后烘180度烘箱,潔凈度達(dá)class100級(jí)無塵烘箱

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2024-12-29 21:00:07

有效期:2024年12月29日 -- 2025年6月29日

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光刻工藝后烘180度專用烘箱,潔凈度達(dá)class100級(jí)無塵烘箱

 

本公司生產(chǎn)的COL-系列無塵烘箱,即使在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100,為CCD(電荷耦合器件)制造過程中烘烤提供潔凈環(huán)境,預(yù)防顆粒沾污
無塵烘箱特點(diǎn):
1:全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
2 :采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
3:采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
技術(shù)參數(shù):
1. 百級(jí)無塵烤箱型號(hào):COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃
4. 無塵烤箱潔凈度:100級(jí);
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動(dòng) 度:±0.5℃
7. 電    源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細(xì)玻璃棉; 
9. 空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機(jī);
10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器;
11. 溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;
12. 控制儀表:進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;
13. 超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;
14. 控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/div>
15. 排 氣 口:ф50;
16. 隔    板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。
無塵烤箱:, 傳真::蔣鑫,
:www.done-e.com.
 

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