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溫度可設(shè)定半導(dǎo)體光刻工藝百級無塵烘箱

本公司生產(chǎn)的COL-系列無塵烘箱，即使在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100，為CCD（電荷耦合器件）制造過程中烘烤提供潔凈環(huán)境，預(yù)防顆粒沾污

無塵烘箱特點：

1：全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

2 ：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；

3：采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門

（特殊風(fēng)道設(shè)計）方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ（附自動啟閉風(fēng)門）

技術(shù)參數(shù)：

1. 百級無塵烤箱型號:COL-2

2. 無塵烘箱工作尺寸（mm）:W600×H600×D500

3. 溫度范圍：RT＋60℃～300℃

4. 無塵烤箱潔凈度：100級；

5. 溫度均勻性: ±1.5%

6. 波動度：±0.5℃

7. 電源：380V 50Hz 7.5KW；

8. 箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵（PARTICLE）,內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細(xì)玻璃棉；

9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)；

10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；

11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；

12. 控制儀表：進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；

13. 超溫保護(hù)儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗品的安全；

14. 控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元氣件；

15. 排氣口：ф50；

16. 隔板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG。

無塵烤箱：， 傳真:：蔣鑫,

：www.done-e.com.

溫度可設(shè)定半導(dǎo)體光刻工藝百級無塵烘箱

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