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固化爐的工作原理和操作流程

時(shí)間:2023-2-24 閱讀:3463
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   真空固化爐是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對(duì)聚酰亞胺(PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備,烘箱溫度最高可達(dá)450°c
  固化爐的工作原理和操作流程:
  1、固化爐工作原理
  以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源,利用風(fēng)機(jī)對(duì)加熱總成對(duì)流換氣的方式加熱空氣,通過熱空氣與物料的熱量傳遞,空氣通過進(jìn)風(fēng)口不斷補(bǔ)充,濕空氣排出箱外,使?fàn)t內(nèi)的溫度不斷提高,模具逐漸預(yù)熱。 操作程序。
  2、固化爐開機(jī)前準(zhǔn)備
 ?、賺徫徊僮魅藛T開機(jī)前首先必須熟悉本機(jī)的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識(shí)。
 ?、跈z查設(shè)備的狀態(tài)標(biāo)志及衛(wèi)生清潔狀況。
 ?、蹤z查電器系統(tǒng)是否完好,電動(dòng)機(jī)是有無受潮漏電。
  3、固化爐操作過程
 ?、偈紫葘⑴_(tái)車及爐內(nèi)部清洗干凈。
  ②打開供電設(shè)備電源開關(guān)、打開設(shè)備“電源開關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
 ?、鄞蜷_爐門,將模具及物料放上臺(tái)車推入烘爐內(nèi),關(guān)閉爐門。
  ④設(shè)定烘爐溫度,并打開烘爐“風(fēng)機(jī)”及“升溫”按鈕。
 ?、葸_(dá)到固化時(shí)間打開爐門,將臺(tái)車推出爐門,取出固化后的物料。
  ⑥當(dāng)工作結(jié)束時(shí),分別關(guān)閉“升溫”和“風(fēng)機(jī)”按鈕,使加熱系統(tǒng)、鼓風(fēng)系統(tǒng)停止工作。
 ?、咦詈箨P(guān)閉“電源開關(guān)”旋鈕,合上總閘,打開爐門,取出已烘干的物料,工作程序結(jié)束。
  4、固化爐操作注意事項(xiàng)
  ①烘爐安裝場(chǎng)地應(yīng)平整、光滑。
 ?、陔娖骺刂迫藛T有專業(yè)的管理和維修;當(dāng)爐箱不用時(shí),應(yīng)切斷電源,確保安全。
 ?、矍形饘⒁兹家妆锲贩湃牒鏍t內(nèi),以免發(fā)生安全事故。
  以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程,希望以上知識(shí)對(duì)您有所幫助!

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