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北京美華儀科技有限公司
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當(dāng)前位置:首頁   >>   資料下載   >>   射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:MHY-13452

干燥設(shè)備
專用儀器儀表
毫秒計(jì) 跳動儀 偏差儀 放大器 柴氏杯 展開儀 封邊機(jī) 焊接機(jī) 蟲情 疏通機(jī) 磁選管 開關(guān) 葉綠素 卷封鋸 干涉儀 撕裂儀 數(shù)粒儀 轉(zhuǎn)速表 喊話器 水泵 預(yù)壓儀 勻漿儀 警報(bào)器 成型機(jī) 透光率 回彈儀 拖網(wǎng) 電源 濾失儀 潤麥儀 判斷儀 鏡畫儀 追蹤儀 拉力機(jī) 電壓表 活化儀 界面儀 除雜機(jī) 電導(dǎo)率儀 電法儀 張線儀 光衰減器 潤麥器 粉質(zhì)儀 儲存鉛箱 烘焙爐 礱谷機(jī) 發(fā)酵儀 鋪板器 面積儀 崩解儀 抄取器 應(yīng)變儀 掃描儀 模型 反應(yīng)儀 功率計(jì) 特斯拉計(jì) 裝置 低速風(fēng)洞 轉(zhuǎn)化器 圓槽鉆 食味計(jì) 油耗儀 查找儀 扭力計(jì) 熔點(diǎn)儀 測距儀 噴霧器 壓滾輪 放置器 配氣儀 白度儀 校準(zhǔn)儀 分離器 液位計(jì) 雜交儀 吸種筆 指示器 靜電儀 吹泡儀 拉伸儀 數(shù)字壓力計(jì) 水平儀 評價(jià)儀 強(qiáng)度計(jì) 醒發(fā)箱 酶標(biāo)儀 角度儀 極譜儀 場強(qiáng)儀 電位差計(jì) 示波儀 爆喇叭 搖床 切片機(jī) 探測儀 采集儀 水浴鍋 濃度儀 PH計(jì) 水分儀 監(jiān)視儀 露點(diǎn)儀 系數(shù)儀 切割機(jī) 光度計(jì) 色度計(jì) 萃取儀 均質(zhì)器 硬度計(jì) 反射儀 旋光儀 流量計(jì) 趕酸板 控制器 密度儀 曝光機(jī) 消解儀 柱塞泵 干燥箱 培養(yǎng)箱 烤膠機(jī) 延伸儀 膨脹儀 記錄儀 檢定儀 測試儀 濃度計(jì) 監(jiān)測儀 校驗(yàn)儀 測量儀 測定儀, 濃縮儀 傳感器 涂膜機(jī) 一體機(jī) 速測儀 粉碎機(jī) 空壓機(jī) 實(shí)驗(yàn)儀 手套箱 點(diǎn)膠機(jī) 濕度儀 折射儀 分析儀 密度計(jì) 振蕩器 消化爐 測斜儀 檢測儀 測定儀 采樣器 混凝土 酸度計(jì) 計(jì)數(shù)器 其他
傳感器
流量儀表
培養(yǎng)箱
煤炭行業(yè)
氣體檢測儀器
包裝測試儀表
機(jī)械量儀表
閥門
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記錄儀
氣象儀器測試儀
實(shí)驗(yàn)儀器裝置
光學(xué)儀器
水質(zhì)檢測儀
化學(xué)試劑類
藥物檢測專用儀器
環(huán)境檢測儀器
水文儀器
石油化工
無損

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:MHY-13452

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射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:MHY-13452

 

主要用途:本設(shè)備主要用于大院校研究和開發(fā)納米單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料??梢孕兄苯訛R射,亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射。

 

主要點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便,真空度維護(hù),安可靠。

 

鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,不得低不平;

2、環(huán)境溫度:10℃~30℃;

3、相對濕度:不大于75%;

4、耗水量(水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;

5、水質(zhì)要求:

矽酸硬度<6度,PH值:7-8,電導(dǎo)率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。

6、電壓: 220V,50HZ, 

電壓波動范圍: 198~231V;

頻率波動范圍:49~51Hz;

7、水壓:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

 

設(shè)備規(guī)格參數(shù)
1.1、濺射處理室: 
       1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×度260mm;
       2、試樣臺:直徑80mm(zui大);
       3、試樣旋轉(zhuǎn):靜止;
       4、擋板:手動;
       5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V); 
       6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;
       7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm;
       8、濺射室限真空:0.5Pa
1.2、真空系統(tǒng):
       1、抽氣系統(tǒng):由機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng);抽氣速率:4升/S
       2、真空檢測:電阻真空計(jì)、電阻規(guī);
       3、常用真空度:1~20Pa
       4、操作:手動
1.3、濺射電源:
1、射頻電源:頻率13.560MHZ,率:500W,用表示; 
2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 
3、供電:AC 220V;
4、冷卻方式:風(fēng)冷;
  1.4、 磁控靶:
1、靶材直徑:Ф50mm、 個磁靶;
2、靶材厚度:3~6mm;
1.5、氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子量計(jì)氣,
1.6、電源要求:AC 220V  50Hz  10A 
1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有殊要求時使用純)
1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風(fēng)冷
1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg
 
 

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