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深圳市安川測(cè)量?jī)x器有限公司

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HONDA本多石英振動(dòng)體超聲波清洗機(jī)使用與用途

時(shí)間:2020/10/12閱讀:1114

HONDA本多石英振動(dòng)體超聲波清洗機(jī)使用與用途

W-357BM-1200 

[超聲波清洗機(jī)[用于半導(dǎo)體行業(yè)]]

 

特征

  • 通過數(shù)字控制可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的振蕩。
  • 通過各種接口,可以根據(jù)清潔設(shè)備進(jìn)行控制。
  • 超聲波輸出可以1W為增量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

 用途:

  • 磁頭清潔
  • 硅片清洗
  • 藍(lán)寶石晶圓清洗
  • 處理半導(dǎo)體器件后進(jìn)行清潔
  • 硬盤清潔

 

規(guī)范

 

振蕩器

 

模型W-357BM-1200
振蕩方式 單頻振蕩
額定輸出 1200瓦
標(biāo)稱振蕩頻率 1兆赫
電源輸入AC200V?240V
單相50 / 60Hz的2400VA
顯示VFD(熒光顯像管)16個(gè)字符x 2行
國(guó)米
的臉
模擬量輸出4-20mA電流輸出
接點(diǎn)輸出3點(diǎn)報(bào)警輸出,振動(dòng)檢測(cè)輸出,電源接通輸出
外置驅(qū)動(dòng)器輸入2點(diǎn)傳感器輸入,遠(yuǎn)程輸入
RS485通訊MODBUS(RTU)協(xié)議
外形尺寸360(W)x 360(D)x 143(H)毫米 
(不包括突起,包括橡膠底腳)
大眾7公斤


●可變輸出范圍:200W至1200W 
●電源線長(zhǎng)度:3m

 需要高頻設(shè)備許可申請(qǐng)通知

換能器單元

 

根據(jù)要求,我們還可以制造規(guī)格為2.4 kW和3.6 kW的定制振蕩器單元,以及6英寸,8英寸和12英寸兼容單元。



F型|

8寸晶片用振動(dòng)板型     

模型W-357BM-1200F
振蕩器型號(hào)W-357BM-1200
大允許輸入1200瓦
標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率1兆赫
有效輻射面W x Dmm272x154
外形尺寸
WxDxHmm (不包括
接線和管道)
355x245x68
材料板:SUS316L表面電解拋光
大眾7公斤

●工作液溫度范圍:5到85℃ 
●傳感器:特殊PZT 
●傳感器線長(zhǎng):5m x 2 

S型|

6英寸晶圓的儲(chǔ)罐類型x 2

模型W-357BM-1200S
振蕩器型號(hào) W-357BM-1200
大允許輸入1200瓦
標(biāo)稱驅(qū)動(dòng)頻率1兆赫
有效輻射面W x Dmm135x160 2個(gè)地方
尺寸 
WxDxHmm 
(不包括突起)
外型496x336x372 (包括橡膠腳)
在坦克442x276x252
材料儲(chǔ)罐:SUS316包裝:拜頓
排水閥1/2英寸
大眾18公斤

●工作液溫度范圍:5到85℃ 
●傳感器:特殊PZT 
●傳感器線長(zhǎng):5m x 2

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