北京博賽德科技有限公司
半導體制程廠區(qū)與設備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案
檢測樣品：空氣樣品
檢測項目：揮發(fā)性有機物
方案概述：北京博賽德科技有限公司自主研發(fā)生產的BCT-AMC系列，半導體制程環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，涵蓋在線監(jiān)測、實驗室分析、機臺現(xiàn)場溯源分析等多個場景的，更多有機物物種的精確全定量分析，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的AMC污染數據庫與處置方案庫，在AI技術的加持下，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
方案概述
在人工智能和高效能運算需求的推動下，在第四代半導體材料與芯粒技術的發(fā)展下， 芯片線寬已由 70nm 迅速進入 7nm 以下時代。30nm 以下的生產過程中，痕量氣態(tài)分 子污染物（AMC）檢測的重要性，已上升到非常重要的高度。
AMC 監(jiān)測的痕量精準化、監(jiān)測全面化、大數據自動分析化，AI 智能管控化理念的引 入，對降低 AMC 造成的良率沖擊，起到至關重要的作用。
北京博賽德科技有限公司自主研發(fā)生產的 BCT-AMC系列，半導體制程環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)， 涵蓋在線監(jiān)測、實驗室分析、機臺現(xiàn)場溯源分析等多個場景的，更多有機物物種的精確 全定量分析，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的 AMC 污染數據庫與處置方案庫， 在 AI 技術的加持下，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
典型場景
1、制程點 - 在線自動化 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
生產監(jiān)測點布點在線監(jiān)測：
• 使用超凈 PFA 采樣管進行廠區(qū)布點，監(jiān)測范圍可達 35000m2~75000m2
• 自動采樣、濃縮、GC-MS 分析、云端存儲、AI 自動生成檢測報告，并帶有超閾報警功能
• 7×24 小時排程自動化監(jiān)測
• 全流程全部件惰性化涂覆，避免殘留與吸附
• 專用捕集系統(tǒng)與聚焦系統(tǒng)，大幅提升檢出線，峰形更銳利
2、疑似點 - 實驗室 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
疑似點手工采樣實驗室分析：
• 系統(tǒng)用于實驗室中，基于捕集能力強、去除雜質能力強、抗吸附能力強、進樣精確度高、各氣路專用、全流程無冷點、清洗非常干凈等特點，共同作用，得到更低的檢出限
• 未知成分分析定量：系統(tǒng)可對樣本進行物質全分析
• 專為半導體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質，及時發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭
晶圓石英加熱爐，加熱揮發(fā)進樣：
• 專為半導體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質，及時發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭
3、工作臺 - 便攜式 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
工作臺 - 污染溯源分析：
• 分析快速
單質譜走航模式，儀器不經過色譜柱直接進入質譜，秒級分析，實時出具數據。
• 靈敏度高
針對性溯源，靈敏度更高：單質譜模式，秒級響應，實時動態(tài)顯示污染情況， 必要時可篩選離子使用 SIM 模式開展針對性走航。
膜進樣技術使得樣品進入質譜前可以進行二次富集，提高靈敏度
• 溯源精準
全新走航模式，深入車間，直指源頭
相對傳統(tǒng)走航設備質量更輕、抗震性更強，在傳統(tǒng)走航的基礎上可進一步進入車間，精準溯源至污染產生工藝點位，幫助企業(yè)實現(xiàn)污染點的治理。
• 結果準確
雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點分析模式
使用 70eV EI 源 + 四級桿質譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs，依托標準 NIST 譜庫，準確定性；國標加持，結果與實驗室可比。
• 環(huán)境適用性強
非機械泵真空系統(tǒng)，環(huán)境適用性更強
摒棄高速旋轉組件，采用非機械真空泵，解決多維大幅振動中無法運行檢測等問題。
數據結果與檢測譜圖
半導體制程廠區(qū)與設備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案介紹完畢，欲了解更多信息，請聯(lián)系我們 ！
相關產品清單
溫馨提示：
1.本網展示的解決方案僅供學習、研究之用，版權歸屬此方案的提供者，未經授權，不得轉載、發(fā)行、匯編或網絡傳播等。
2.如您有上述相關需求，請務必先獲得方案提供者的授權。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布，信息內容的真實性、準確性和合法性由上傳企業(yè)負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
最新解決方案
- 水質磺酰脲類農藥的測定
- 生態(tài)環(huán)境保護綜合行政執(zhí)法裝備-單人防護裝備
- 生態(tài)環(huán)境保護綜合行政執(zhí)法裝備-紅外熱成像氣體泄漏檢測儀
- 生態(tài)環(huán)境保護綜合行政執(zhí)法裝備-多參數氣體檢測儀
- 生態(tài)環(huán)境保護綜合行政執(zhí)法裝備-手持式光離子檢測儀PID
- 水質中阿特拉津的測定
- HPLC-ICP-MS法測定生活飲用水中的氯化乙基汞
- GCMS同位素內標法測定土壤中多溴二苯醚
- 抗生素濫用害了誰？水中14種喹諾酮類抗生素殘留測定
- 離子色譜串聯(lián)質譜（IC-MS/MS）法定量分析生活污水中5種有機磷
業(yè)界頭條
- 創(chuàng)新與本土化雙擎發(fā)力破局水質監(jiān)測行業(yè)變革
-
第26屆中國環(huán)博會期間，哈希推出一代氣敏電極法在線氨氮分析儀NH6000 sc和實驗室全自動水質分析...
- 預算794.8萬元 伊犁哈薩克生態(tài)環(huán)境局采購一批細顆粒物檢測儀器
- 驚艷亮相IE expo China 2025 江蘇凌恒展示多款環(huán)境監(jiān)測設備
- 以科技創(chuàng)新賦能水質監(jiān)測 藍華智能閃耀中國環(huán)博會
- 麥越環(huán)境亮劍環(huán)博會 展示氣體監(jiān)測治理一體化閉環(huán)
- 區(qū)域協(xié)同促發(fā)展 京津冀環(huán)境綜合治理2025年度重大專項申報開啟
- 三大創(chuàng)新儀器解碼多場景環(huán)境監(jiān)測 四方儀器閃耀2025中國環(huán)博會
- 我國首支純電拖輪船隊亮相海州灣畔 為智能綠色港口提供“連云港樣本”
