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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)
參考價 | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/25 13:00:47
- 訪問次數(shù) 78
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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品簡介
Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)設(shè)計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石管所取代。真空密封設(shè)計和腔室材料的選擇已被優(yōu)化,以支持等離子體內(nèi)部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進(jìn)行等離子體蝕刻的應(yīng)用,SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石是比傳統(tǒng)石英腔室等離子體源更好的選擇。
Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用
Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)已被用于存款薄膜,在原子層沉積系統(tǒng)中薄膜沉積之前清潔樣品表面,以及從金屬表面清潔碳和氧污染物??蛻舻臏y試結(jié)果表明,SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內(nèi)工作。