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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國公司?;?/span> Science is international”的想法,“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實(shí)驗(yàn)室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程;材料科學(xué)的檢測、分析;生命科學(xué)成像,腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商,FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng),能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛,其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長的過程中,我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚(yáng)帆起航!

 

 

 

 

 

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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品簡介

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)設(shè)計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石管所取代。真空密封設(shè)計和腔室材料的選擇已被優(yōu)化,以支持等離子體內(nèi)部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進(jìn)行等離子體蝕刻的應(yīng)用,SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石是比傳統(tǒng)石英腔室等離子體源更好的選擇。

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)已被用于存款薄膜,在原子層沉積系統(tǒng)中薄膜沉積之前清潔樣品表面,以及從金屬表面清潔碳和氧污染物??蛻舻臏y試結(jié)果表明,SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內(nèi)工作。

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)




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