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北京奧德利諾儀器有限公司

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>表面/界面性能測(cè)定儀>接觸角/表面張力儀>SURFTENS HL 200 automatic 全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x

SURFTENS HL 200 automatic 全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) SURFTENS HL 200 automatic
  • 產(chǎn)地 德國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/6 15:59:45
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 90

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那諾中國(guó)有限公司專(zhuān)注于為大中華區(qū)域(包括中國(guó)大陸、香港、澳門(mén)和中國(guó)臺(tái)灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性?xún)r(jià)比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測(cè)儀器。


那諾中國(guó)提供美國(guó)那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


那諾中國(guó)提供英國(guó)KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 固定樣品臺(tái)大小 200mm
價(jià)格區(qū)間 面議 接觸角測(cè)量范圍 0-180°
儀器類(lèi)型 實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式 儀器種類(lèi) 視頻光學(xué)接觸角測(cè)定儀
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,汽車(chē)及零部件,綜合

SURFTENS HL automatic

適用于12英寸及以下晶圓的全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x


全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x


特點(diǎn):

SURFTENS HL automatic全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x專(zhuān)為半導(dǎo)體工業(yè)和科研領(lǐng)域設(shè)計(jì),尤其適用于晶圓涂覆及光刻工藝中的工藝控制。


其主要特性包括:  全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x

- 全自動(dòng)接觸角測(cè)繪功能  

- 緊湊型設(shè)計(jì),節(jié)省空間  

- 配備電機(jī)驅(qū)動(dòng)的晶圓臺(tái)(X/φ軸),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)樣品定位  

- 電機(jī)控制的自動(dòng)化加液?jiǎn)卧? 

- 自動(dòng)化液滴放置功能  

- 軟件控制全自動(dòng)測(cè)量序列

- 測(cè)量結(jié)果可通過(guò)報(bào)告文檔及視頻圖像進(jìn)行系統(tǒng)化記錄與分析



快速的接觸角和表面均勻性測(cè)量:全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x


SURFTENS HL automatic專(zhuān)為潔凈室環(huán)境設(shè)計(jì),緊湊的結(jié)構(gòu)、極短的測(cè)量周期以及簡(jiǎn)單的操作流程,在同類(lèi)產(chǎn)品中表現(xiàn)優(yōu)異。其配備步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的 x/φ 載物臺(tái),可快速實(shí)現(xiàn)晶圓上任意點(diǎn)的接觸角測(cè)量。

SURFTENS HL automatic僅需數(shù)秒即可完成對(duì)晶圓表面特性的均勻性評(píng)估。  

測(cè)量結(jié)果的輸出同樣高效便捷,支持將數(shù)據(jù)直接傳輸至質(zhì)量保證(QA)軟件或根據(jù)需求配置為其他格式。同時(shí),系統(tǒng)會(huì)在“邊緣角統(tǒng)計(jì)”標(biāo)簽頁(yè)中匯總并展示整個(gè)批次所有晶圓的相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),便于用戶(hù)進(jìn)行深入分析。



高度精確的自動(dòng)測(cè)量功能全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x

測(cè)試液滴由自動(dòng)加液裝置產(chǎn)生,液滴圖像即刻以高質(zhì)量實(shí)時(shí)視頻畫(huà)面顯示在電腦屏幕。只需點(diǎn)擊一個(gè)按鍵即可開(kāi)始測(cè)量。軟件能夠快速計(jì)算接觸角,并以直觀的圖形化界面結(jié)合精確的數(shù)據(jù)進(jìn)行呈現(xiàn),方便用戶(hù)記錄與分析。系統(tǒng)具備極短的測(cè)量時(shí)間(每滴僅需 1 秒),有效避免了因時(shí)間延遲導(dǎo)致的誤差。

SURFTENS HL automatic測(cè)量系統(tǒng)不僅提供了高級(jí)別的測(cè)量重復(fù)性和精度,且操作簡(jiǎn)便。對(duì)于對(duì)比度差的圖像,系統(tǒng)還配備了手動(dòng)測(cè)量功能,為用戶(hù)提供靈活的解決方案。





使用SURFTENS HL automatic系統(tǒng),有效解決附著力問(wèn)題全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x

在半導(dǎo)體技術(shù)中,基材和涂層的表面自由能(SFE)可通過(guò)接觸角測(cè)量進(jìn)行研究。接觸角測(cè)量可讓您快速優(yōu)化新的工藝步驟,并更好地標(biāo)準(zhǔn)化已知工藝。晶圓表面性質(zhì)的微小變化會(huì)表現(xiàn)為接觸角的顯著變化,易于檢測(cè)。投入少量時(shí)間進(jìn)行接觸角測(cè)量,可顯著減少后期生產(chǎn)中的潛在問(wèn)題,帶來(lái)可觀的經(jīng)濟(jì)效益。

為了有效降低小于1um的光刻膠結(jié)構(gòu)缺陷密度及特征尺寸,確保光刻膠具備良好的附著力至關(guān)重要。通過(guò)接觸角測(cè)量技術(shù),能夠精確監(jiān)控光刻膠的附著力。




半導(dǎo)體行業(yè)其他接觸角測(cè)量設(shè)備

SURETENS HL manual

SURETENS HL manual 是一款專(zhuān)為硅片設(shè)計(jì)的手動(dòng)接觸角測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以選配手動(dòng)或電動(dòng)滴液?jiǎn)卧?/span>


全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x




SURFTENS WH 300

SURFTENS WH 300 是專(zhuān)為 300mm晶圓設(shè)計(jì)的接觸角測(cè)量核心設(shè)備,廣泛應(yīng)用于高精度表面特性分析。

 

全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x

標(biāo)準(zhǔn)配置:

- 高精度三軸晶圓裝載機(jī)械臂,確保操作穩(wěn)定性和重復(fù)性

- 標(biāo)配用于300mm FOUP(Front Opening Unified Pod)的自動(dòng)化裝載端口,實(shí)現(xiàn)無(wú)縫對(duì)接與高效傳輸  

- 內(nèi)置過(guò)濾風(fēng)扇單元(FFU),提供潔凈的工作環(huán)境以減少顆粒污染  

- 自動(dòng)直接加液系統(tǒng),精確支持液體分配  

- 自動(dòng)補(bǔ)充儲(chǔ)液罐,容量可達(dá)初始體積的 10 倍,減少人工干預(yù)  

可選配置:  

- 雙測(cè)試液加液系統(tǒng),適用于多種測(cè)試需求  

- 200mm橋接工具,擴(kuò)展兼容性以支持不同尺寸晶圓

- SECS/GEM接口,實(shí)現(xiàn)與工廠自動(dòng)化系統(tǒng)的無(wú)縫集成。  



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