國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡
- 公司名稱 深圳市新瑪科技有限公司
- 品牌 國儀量子
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/6 15:52:21
- 訪問次數(shù) 87
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示波器,電子負(fù)載,熱像儀,邏輯分析儀,頻譜分析儀,數(shù)據(jù)采集器,安規(guī)綜合測試儀,交直流電源,電磁兼容EMC測試和EMC整改的解決方案,
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 | 圖像采集速度 | 10 ns/pixel,2*100 M pixel/s |
加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) ; 6 kV~30 kV(非減速模式) | 分辨率 | 1.3nm@3kV,SE;1.5nm@1kV,SE,0.9nm@30kV,STEM |
視場大小 | 最大視場1*1 mm2,高分辨微畸變視場64*64 um2 | 樣品臺精度 | 重復(fù)定位精度:X ±0.6 um;Y ±0.3 um |
國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實(shí)現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù),實(shí)現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度,同時保證了納米級分辨率。
國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計,使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高速掃描驅(qū)動器
駐點(diǎn)時間10 ns/pixel,
最快采集速度2*100 M pixel/s
電子過濾系統(tǒng)
SE/BSE信號自由切換,
信號混合比例可調(diào)
全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)
可實(shí)現(xiàn)高分辨大場模式,
4 nm像素點(diǎn)最大視場達(dá)64*64 um2
樣品臺減速技術(shù)
降低入射電子落點(diǎn)電壓,
同時提高回收電子的收集效率
浸沒式電磁復(fù)合物鏡
物鏡磁場浸沒樣品
實(shí)現(xiàn)了低像差高分辨率
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業(yè),綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
2、大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸,實(shí)現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
3、低壓高分辨
樣品臺減速技術(shù),實(shí)現(xiàn)低落點(diǎn)電壓,同時保證高分辨率
產(chǎn)品參數(shù)
關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.3nm@3 kV,SE ; 1.5nm@1 kV,SE | |
1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE | |||
0.9nm@30kV,STEM | |||
加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) | ||
6 kV~30 kV(非減速模式) | |||
放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 | ||
物鏡類型 | 浸沒式電磁復(fù)合物鏡 | ||
偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) | 靜電偏轉(zhuǎn)器 | ||
樣品裝載系統(tǒng) | 真空系統(tǒng) | 全自動控制,無油真空系統(tǒng) | |
樣品監(jiān)控 | 樣品倉監(jiān)控水平攝像頭; 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭 | ||
樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 | ||
樣品臺 | 類型 | 電機(jī)驅(qū)動3軸樣品臺(*可選配壓電驅(qū)動樣品臺) | |
行程 | X、Y軸:110mm; Z軸:16mm; | ||
重復(fù)定位精度 | X軸:±0.6μm; Y軸:±0.3μm; | ||
換樣方式 | 全自動控制 | ||
換樣時間 | <15 min | ||
換樣倉清洗 | 全自動控制等離子清洗系統(tǒng) | ||
圖像采集與處理 | 駐點(diǎn)時間 | 10 ns/pixel | |
圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
圖像大小 | 24K*24K | ||
探測器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)混合電子探測器 | |
選配 | 低角度背散射電子探測器 | ||
鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器 | |||
明場透射電子探測器 | |||
高角/中角/底角暗場透射電子探測器 | |||
壓電驅(qū)動樣品臺 | |||
高分辨大場模式 | |||
樣品倉等離子清洗系統(tǒng) | |||
6英寸樣品裝載系統(tǒng) | |||
主動減震臺 | |||
AI降噪;大圖拼接;三維重構(gòu) | |||
軟件 | 語言 | 中文 | |
操作系統(tǒng) | Windows | ||
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | ||
自動功能 | 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體工業(yè)
生命科學(xué)
材料科學(xué)
地質(zhì)科學(xué)