國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡
- 公司名稱(chēng) 深圳市新瑪科技有限公司
- 品牌 國(guó)儀量子
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/6 16:18:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 96
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示波器,電子負(fù)載,熱像儀,邏輯分析儀,頻譜分析儀,數(shù)據(jù)采集器,安規(guī)綜合測(cè)試儀,交直流電源,電磁兼容EMC測(cè)試和EMC整改的解決方案,
產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 500萬(wàn)-700萬(wàn) |
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儀器分類(lèi) | FIB |
國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具,低電壓高分辨的電子鏡筒,保證納米分析能力?!俺杏啊彪x子鏡筒提供了高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器,一體化設(shè)計(jì)的控制軟件,為您打造全能納米分析和加工中心。
國(guó)儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、高壓隧道技術(shù)和無(wú)漏磁物鏡的電子鏡筒,高分辨率成像,兼容磁性樣品
2、“承影”離子鏡筒,高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣
3、樣品倉(cāng)內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的機(jī)械手,集成式控制方式,操作精準(zhǔn)到位
4、自主可控,擴(kuò)展性強(qiáng),集成化設(shè)計(jì)的離子源更換時(shí)間快,良好的售后服務(wù)
產(chǎn)品參數(shù)
電子束系統(tǒng) | 電子槍類(lèi)型 | 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
分辨率 | 0.9 nm@15 kV | |
加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
離子束系統(tǒng) | 離子源類(lèi)型 | 液態(tài)鎵離子源 |
分辨率 | 3 nm@30 kV | |
加速電壓 | 500 V ~ 30 kV | |
樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制,無(wú)油真空系統(tǒng) |
攝像頭 | 三攝像頭 | |
(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控x2) | ||
樣品臺(tái)類(lèi)型 | 五軸機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái) | |
樣品臺(tái)行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm | |
T: -10°~+70°,R: 360° | ||
探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器(Inlens) |
旁側(cè)二次電子探測(cè)器(ETD) | ||
選配 | 插入式背散射電子探測(cè)器(BSED) | |
插入式掃描透射探測(cè)器(STEM) | ||
能譜儀(EDS) | ||
背散射衍射(EBSD) | ||
納米機(jī)械手 | ||
氣體注入器 | ||
等離子清洗 | ||
樣品交換倉(cāng) | ||
軌跡球&旋鈕控制板 | ||
軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows | |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 | |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
技術(shù)介紹
"承影"離子鏡筒
技術(shù)特點(diǎn)
分辨率:3 nm@30 kV
探針電流:1 pA~65 nA
加速電壓范圍:500 V~30 kV
使用壽命:≥1000小時(shí)
長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性:72小時(shí)不間斷工作
納米機(jī)械手
技術(shù)特點(diǎn)
倉(cāng)內(nèi)安裝方式
全壓電驅(qū)動(dòng)
編碼精度≤10nm
最大移動(dòng)速度2mm/s
集成式控制方式
離子束-電子束協(xié)同
氣體注入器
單氣體注入
多種氣源可選
伸縮距離≥35 mm
重復(fù)定位精度≤10 um
加熱溫度控制精度≤0.1℃
加熱溫度范圍:室溫~90℃
集成式控制方式