顯微反射膜厚儀 FT400描述：

利用光學干涉，采用微米級聚焦光斑，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，快速準確測量薄膜厚度、光學常數(shù)等信息，廣泛應用于半導體鍍層、液晶顯示器、光學鍍層和生物醫(yī)學等領域。

顯微反射膜厚儀 FT400功能：

膜層厚度無損測量

避免傳統(tǒng)接觸式測量（如臺階儀）可能造成的劃傷或形變

支持微小區(qū)域測量

結合高倍率顯微物鏡和精密光路設計，將測量光斑聚焦至微米級。

支持測量區(qū)域光斑可視

避免盲測，提升測量重復性，尤其適用于不規(guī)則或異形樣品。

支持厚度均勻性測量

自動移動樣品臺，按網格或自定義路徑采集多點數(shù)據(jù)。

支持多種表面測量

如SiO?、光刻膠、PET薄膜，可通過多峰干涉解析各層厚度。

支持參數(shù)調整測量

用戶可保存不同材料的測量模板，提升批量檢測效率。

產品特點：

1.高精度、高穩(wěn)定性無損測量。

2.支持小尺寸光斑定制。

3.可用于薄膜厚度均勻性測量，生成多點報表。

4.可測量高曲率樣品，在極小測量視場范圍場景同樣適用。

5.可測量表面粗糙樣品、帶圖形樣品，精準定位待測區(qū)域。

6.光斑可視，搭配位移臺，使定位測量使用更便捷。

三視圖：

技術參數(shù)：

檢測案例：